问：不平整样品的EDS能谱出现异峰

你做的是什么样品？能说一下吗？本身有没有Al？

看下以前的帖子，是样品台，电子散射

谢谢了，按你所说我看了以前的问答。不过还是有点疑问，
1）我并不是在低真空下做的能谱。
2）Al是有可能来源于样品台（样品本身没有Al)。 样品倾斜时（比如放在45度的斜坡样品台上），还比较好理解。可如果是样品及样品台是平放的并且样品非常之厚，仅仅因为探测区域处在‘井底‘，或在表面台阶的边上，怎么会有AL信号呢？

把加速电压降低，看看铝峰有没有消失。
再用标样做一下谱峰校正，看看是不是峰位漂移引起的误标。

一个是电子散射所至，把倍数放高试试；还有可能是仪器接地不好，出现的感应信号，都看看吧

Maybe sample fixture