型号: | GDL |
产地: | 韩国 |
品牌: | NCD |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
量产型 薄膜封装用 原子层沉积系统(R2R ALD)主要应用于有机半导体((Micro)OLED,QD,OPV,钙钛矿光伏....)在线批量生产的薄膜封装(TFE).可对平板Panel或柔性(Flexible)基底进行卷对卷(R2R)封装.
在OLED Panel厂产线有广泛应用!
主要应用:
-硅基WVTR(水蒸气透过率)的阻挡层
-Micro-OLED封装层
-柔性衬底用阻挡层
-OLED封装层
-柔性OLED显示器、柔性OLED照明、量子点、柔性太阳能电池等高水分阻隔膜的卷对卷(R2R)ALD工艺:
特点:
1.ALD高k介质,厚度均匀性好,保形步进覆盖。
2.先进的工艺套件和小体积的短周期室
3.实现了ALD机构(行波法)
4.小脚印全集成工艺模块
5.过程控制方便,供气线路长度小。
应用尺寸:370*470mm,730*920mm,1500*1850mm....
相关产品
多通道 OLED/钙钛矿QLED 寿命& IVL测试系统
UV~NIR钙钛矿LED寿命测试系统
台式 OLED/钙钛矿QLED光电检测仪
影像式 钙钛矿QLED/OLED 寿命衰减机理分析系统
OLED 瞬态EL & 瞬态PL变温测试系统
OLED/钙钛矿LED 角度PL测试系统
OLED阻抗测试系统
发光器件量子产率(PLQY)& 光电(IVL)一体综合测试系统
OLED TOF测试系统
多通道 OPD(有机光电探测器) 寿命测试系统
OPD(有机光电探测器) 效率测试系统
光电二极管(PD)特性测试系统
OLED I-V-L测试系统
OLED 光电&寿命综合测试系统
经典型 OLED 寿命测试系统
关注
拨打电话
留言咨询