NCD太阳能电池钝化用ALD设备GS_价格-南京伯奢咏怀电子科技有限公司

太阳能电池钝化用ALD设备

参考价：面议

型号：

产地：

韩国

品牌：

NCD

评分：

产品详情

晶硅太阳能电池表面钝化用高产出原子层沉积系统

ALD for surface passivation of c-Si solar cells

应用：

1.CIGS太阳能电池无镉缓冲层沉积

2.晶硅太阳能电池表面钝化层沉积

3.大规模生产的应用

4.工业全自动生产设备

5.高产量：高达4500晶片/小时(156 X 156 m㎡)

特征：

1.良好的厚度＆均匀性好的Al2O3薄膜

2.用于短气体循环时间的先进工艺套件和小体积

3.具体化的ALD机械装置

4.全集成工艺模块

5.操作过程简单

6.自动式操作

技术规格：

Model	Material	Wafer Size(mm²)	Thickness (nm)	Throughput(wph)
Lucida^TM GS200	Al₂O₃	156x156	4	≥550
Lucida^TM GS800	Al₂O₃	156x156	4	≥2300
Lucida^TM GS1200	Al₂O₃	156x156	4	≥3400
Lucida^TM GS1600	Al₂O₃	156x156	4	≥4500
Lucida^TM GS6000	Al₂O₃	156x156	4	≥6000

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