步进式Stepper光刻机

步进式Stepper光刻机

参考价:面议
型号: customized
产地: 日本
品牌: 日本佳能
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核心参数
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产品详情

解像力:350nm

投影倍率:1:5

市场尺寸:20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

光源:i-Line 365nm

掩膜版尺寸:5inch/6inch(可选)

晶圆尺寸:50mm2inch/75mm3inch/100mm4inch/150mm6inch/200mm8inch)(可选)

套刻精度:40nm

设备尺寸:(W1900*D2600*H2450mm


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供日本佳能步进式Stepper光刻机customized,日本佳能customized产地为日本,属于进口有掩模光刻机,除了步进式Stepper光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多有掩模光刻机,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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