型号: | APS系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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APS系列 感应式碳化硅长晶炉
1、适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长
Applicable for 6, 8 inch conductive/HPSI SiC crystal growth
2、创新的结构设计,提供高纯材料生长能力
Innovative design provide high purity crystal growth environment
3、智能的运行 / 监控系统,适于长时间 / 高温 / 低压工艺,拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口
Smart operation/monitoring system suit for long-time/high-temp/low-pressure process, expanding process window for high quality & mass production crystal growth
4、包含多款辅助设备:大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备
Including accessory equipment, powder synthesis furnace, ingot annealing furnace, AlN crystal growing furnace & customized equipment
技术参数 Technical Parameters
1、晶体尺寸 6、8 英寸
2、加热方式 感应加热
3、适用材料 碳化硅、氮化铝
4、适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)
5、适用领域 科研、化合物半导体
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