感应式碳化硅长晶炉

感应式碳化硅长晶炉

参考价:面议
型号: APS系列
产地: 北京
品牌: 北方华创
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产品详情

APS系列 感应式碳化硅长晶炉

1、适用于 6 英寸、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长 

 Applicable for 6, 8 inch conductive/HPSI SiC crystal growth 

2、创新的结构设计,提供高纯材料生长能力

 Innovative design provide high purity crystal growth environment 

3、智能的运行 / 监控系统,适于长时间 / 高温 / 低压工艺,拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口 

Smart operation/monitoring system suit for long-time/high-temp/low-pressure process, expanding process window for high quality & mass production crystal growth 

4、包含多款辅助设备:大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备 

Including accessory equipment, powder synthesis furnace, ingot annealing furnace, AlN crystal growing furnace & customized equipment


技术参数 Technical Parameters

1、晶体尺寸 6、8 英寸

2、加热方式 感应加热

3、适用材料 碳化硅、氮化铝

4、适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)

5、适用领域 科研、化合物半导体

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创感应式碳化硅长晶炉APS系列 ,北方华创APS系列 产地为北京,属于国产单晶炉,除了感应式碳化硅长晶炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多单晶炉,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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