型号: | Bpure系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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Bpure系列 立式/卧式管舟清洗设备
1、全自动清洗,浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
Automatic cleaning, optional with immersion and spray cleaning process
2、 一机多用,可兼容石英管 / 舟 / 工件清洗
Multi-process machine, compatible with quartz tube/boat/parts cleaning
3、 自主研发控制系统,友好的人机交互界面
Fully self-developed procedures, friendly human computer interaction
4、自动配液系统,换酸便捷
Automatic chemical dosing system, quick and convenient acid exchange
5、分级安全互锁设置,确保设备安全可靠
Classified interlock configuration for safety of equipment
技术参数
1、晶圆尺寸 8、12 英寸
2、适用材料 石英、碳化硅
3、适用工艺 石英管 / 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
4、适用领域 科研、集成电路、化合物半导体
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