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应用：
-硅太阳能电池表面钝化（Surface Passivation)
-生产用（量产型）
特点：
-过程保证
-高产出：>1600 wph
>3200 wph
-易于维护
-前躯体源价格经济
-集成化过程模组
-Cassette to Cassette 操作
-气体管路集成化（专利技术）
-。。。。。。。。。。。
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