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功能特点:
无需蒸金等前处理即可观察
◆ 使用以往的 SEM 进行观察时需要进行蒸金等前处理，因其会破坏测试材料，所以不能用于观察正在进行评价的试作品,蒸金等前处理可能会导致测试材料变质，有时不能进行正确观察。VE 系列则无需蒸金等前处理就可轻松进行正
确观察。
可清晰观察测试材料最表面部分
◆ 除可使用高加速电压外，还可使用低加速电压进行观察
◆ 使用低能量的电子光束观察测试材料表面所获得的图像可不受测试材料内部的组成和材质影响，正确再现测试材料表面。被高能量的电子光束消除的细微形状也可清晰捕捉，从而进行更详细的解析。
将测试材料的损伤降至最小
◆ 尽可能抑制变形或对材料的损伤，可进行更正确的观察用于观察的电子光束的能量很低，所以可以将对测试材料的损伤或变形降至最小。这对怕热和含水分的测试材料观察特别有效，不仅可以详细观察表面形状，也可正确观察其初始状态.
技术参数:
| 型号 | VE-9800 | |
| 倍率 | 15-100000 倍 | |
| 观察范围 | 9 (H) × 7 (V) mm-1.3 (H) × 1 (V) μm | |
| 辨识能力 | 8 nm | |
| 观察图像 | 两次电子图像·反射电子图像 | |
| 观察模式 | 高真空·低真空（3-260 Pa | |
| 显示辨识能力 | 观察时 | 640 (H) × 480 (V) |
| 摄影时 | 1280 (H) × 960 (V) | |
| 帧频 | 4.5F/S（观察时） | |
| 图像保存形式 | 2D 图像 | TIFF·JPG |
| 3D 图像 | TIFF·JPG·EXE（附带播放功能）·AVI（动画） | |
| 加速电压 | 0.520 kV | |
| 电子束 | 电子束 钨丝夹·牵引盒式 | |
| 最大测试材料尺寸 | φ64 mm | |
| 测试材料载物台 | 5 轴（X·Y·Z·旋转·倾斜）优先选择式（X·Y·电动倾斜轴） | |
| X :32mm·Y:32mm·Z:8-30mm·旋转:360°·倾斜:-10+90° | ||
| 测试材料室内状况确认功能 | 彩色摄像机 | |
| 控制部 | 专用工作站 OS: Window XP Professional SP2 | |
| 电源 | 电源电压 | AC100 V ±10% 50/60 Hz |
| 消耗功率 | 1500 VA 以下 | |
| 环境适应性 | 使用周围湿度 | 15,+30℃ |
| 使用周围湿度 | 70% 以下（不能结露） | |
| 外形尺寸 | 本体 | 宽 395 × 高 957 × 长 670 mm |
| 外部泵 | 宽 500 × 高 365 × 长 170 mm | |
| 质量 | 本体 | 约 125 kg |
| 外部泵 | 约 27 kg | |
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