可变真空超大样品室扫描电镜
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可变真空超大样品室扫描电镜

报价 ¥100万 - 150万

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品牌

泰思肯

型号

VEGA 3 XMU

产地

欧洲捷克

应用领域

暂无
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北京兄弟创合科贸有限公司

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可变真空超大样品室扫描电镜 VEGA 3 XMU
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(BSE,LVSTD)		 

3nm(30kV),8nm(3kV) / 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV)

3.5nm(30kV) / 选配 六硼化镧2.5(30kV)

 工作真空
 低真空		  
 3-500Pa(可选配2000Pa)
 电子光学工作模式分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率1x-1,000,000x
 加速电压200V至30KV
 电子枪钨灯丝/六硼化镧
 探针电流1pA至2μA
 扫描速度从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口形状、尺寸和位置连续可调
 扫描特性动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 
 图象尺寸
最大可达8192×8192象素，图象比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序

实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整

 远程控制通过TCP/IP

 

 样品室
 内部尺寸285mm宽×340mm深
 门宽285mm宽×320mm高
 接口数量12+
 样品室减振方式气垫（可选配内置主动式电磁减振）
 + 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 

全电脑化优中心

 

 移动范围		X=130mm——马达驱动

Y=130mm——马达驱动

Z=100mm——马达驱动

旋转：360°连续可调——马达驱动

倾斜：-30°到+90°——马达驱动

 样品高度最大145mm
软件
 测量软件
 定位软件
 图象处理
 三维扫描
 硬度测量
 多图校正
 投影面积
 打印放大倍率
 关机定时器
 公差测量

 形态学
 颗粒度分析
 自动抓图
 图象观测
 电子束写入
 鼠标连接

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●标配 ○选配


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