仪器对比
关注
Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪是用于扫描电镜的
最先进高质量的镀膜仪系统
●自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。
●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
●操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换
气控制。
●在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重
现的喷镀效果。
●可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪（选件）(分辨率优于 0.1nm，-99.9nm 到+999.9nm)
●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的
镀膜效果。
● 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd，靶材更换快速方便。
技术规格：
样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构
样品台：可放置 12 个标准 SEM 样品座，高度可在 60mm 内调节
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最
大 180A，配有过流保护
溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流 40mA，程序化数字控制
溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量：真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器： MTM-10 高精度厚度监测器(选配)
控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器
（0－300s），自动放气
电源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)
Cressington 108C Auto 全自动镀碳仪是用于扫描电镜的
最先进的镀碳仪系统
●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发，无须切
削或调整碳棒形状。
●108C Auto 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统
结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到
所需的碳膜厚度。
●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中
的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，
碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
●自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允
许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。
● 可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪（选件）(分辨率优于 0.1nm，-99.9nm 到+999.9nm)
技术规格：
样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构
溅镀材料：Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"])
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最
大 180A，配有过流保护
样品台：可放置 12 个标准 SEM 样品座，高度可在 60mm 内调节
模拟计量：真空 Atm - 0.01mb 电流: 0 - 200A
厚度监测器： MTM-10 高精度厚度监测器(选配)
控制方式： 自动蒸镀控制，使用可编程电压控制和计时；可选择手动操作或自动控制
数字计时 (0 – 30 秒)，数字电压设定 (0.1 to 6.0V)
电源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)
SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸发溅射仪
SPI Supplies Vacu Prep II 是一款快速、清洁、简便的自动台式高真空蒸发溅射仪。它利用固态电子控制泵送、蒸发和排气序列。安全可靠，易于维护。SPI Supplies Vacu Prep II可用于常规碳镀层或各种金属材料的蒸发。所有系统操作通过互动触屏幕控制，易于掌握。用户也可以通过屏幕监视和管理系统的运行，也可选择手动或自动工作模式，完成工作。
SPI Supplies Vacu Prep II通过快速的泵送运动，能够快速实现10-7 Torr范围的极限真空。该设备的另一特色是拥有大型的工作平台，可容纳多个引线、夹具等。762.5px × 1142.5px的工作室可以为蒸发和溅射工作提供充足的空间。钟罩可以轻松上升或下降。
涡轮分子泵是该系统的核心部件。复合涡轮分子泵操作的速度为60升/秒，在短时间内可实现良好的真空水平。典型的泵送周期（10-5）可实现在10分钟内为一个标准TEM网格的镀碳。可通过液氮阀门调整泵送速率以达到更高的真空水平。
SPI Supplies Vacu Prep II配有安全联锁装置，可保障操作者的安全，以及防止设备损坏。前面板上配有紧急关闭开关。
典型的应用：
l 电子显微镜样品制备；
l 关于透射电镜和X射线分析的高真空碳镀层工作；
l 金属化合物电阻蒸发；
l 制备碳支持膜；
l 碳铂
l 旋转阴影
l 孔径清洗
l 石棉分析
l 故障分析
技术参数：
产品编号 | ZB- |
产品名称 | SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸发溅射仪 |
尺寸大小 | 78.7 × 71.1 × 76.2 cm |
重量 | 250磅（113.4kg） |
空气（汽门系统） | 80磅 |
氮 | 可选的排气（5-10磅） |
电力 | 110V和220V |
机械泵需要回涡轮泵 | 泵必须能够85升/分钟 |
- 相关仪器
- 相关资料
相关产品
