Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪

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品牌

暂无

型号

Cressington 108Auto

产地

欧洲英国

应用领域

暂无

Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪是用于扫描电镜的

最先进高质量的镀膜仪系统

●自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

●操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换

气控制。

●在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重

现的喷镀效果。

●可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率优于 0.1nm-99.9nm +999.9nm)

●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的

镀膜效果。

  可使用多种金属靶材:Au  Au/Pd,Pt,Pt/Pd,靶材更换快速方便。

技术规格:

样品仓尺寸:  120 x 120mm(高)  (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构

样品台:可放置 12 个标准 SEM 样品座,高度可在  60mm 内调节

溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最

180A,配有过流保护

溅射控制:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流 40mA,程序化数字控制

溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量:真空  Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器:  MTM-10 高精度厚度监测器(选配)

控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器

0300s),自动放气

电源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

 

 

 

 

 

 

Cressington 108C Auto 全自动镀碳仪是用于扫描电镜的

最先进的镀碳仪系统

●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发,无须切

削或调整碳棒形状。

108C Auto 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统

结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到

所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中

的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,

碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

●自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允

许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。

  可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率优于 0.1nm-99.9nm +999.9nm)

技术规格:

样品仓尺寸:  120 x 120mm(高)  (4.75 x 4.75"),高强度不锈钢结构

溅镀材料:Bradley  型高纯度碳棒  (6.15mm, [1/4"])

溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空安全联锁装置,最

180A,配有过流保护

样品台:可放置 12 个标准 SEM 样品座,高度可在  60mm 内调节

模拟计量:真空  Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器:  MTM-10 高精度厚度监测器(选配)

控制方式:  自动蒸镀控制,使用可编程电压控制和计时;可选择手动操作或自动控制

数字计时  (0 30 ),数字电压设定  (0.1 to 6.0V)

电源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

 

 

 

 

 

 

 

SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸发溅射仪

SPI Supplies Vacu Prep II 是一款快速、清洁、简便的自动台式高真空蒸发溅射仪。它利用固态电子控制泵送、蒸发和排气序列。安全可靠,易于维护。SPI Supplies Vacu Prep II可用于常规碳镀层或各种金属材料的蒸发。所有系统操作通过互动触屏幕控制,易于掌握。用户也可以通过屏幕监视和管理系统的运行,也可选择手动或自动工作模式,完成工作。

 

SPI Supplies Vacu Prep II通过快速的泵送运动,能够快速实现10-7 Torr范围的极限真空。该设备的另一特色是拥有大型的工作平台,可容纳多个引线、夹具等。762.5px × 1142.5px的工作室可以为蒸发和溅射工作提供充足的空间。钟罩可以轻松上升或下降。

涡轮分子泵是该系统的核心部件。复合涡轮分子泵操作的速度为60/秒,在短时间内可实现良好的真空水平。典型的泵送周期(10-5)可实现在10分钟内为一个标准TEM网格的镀碳。可通过液氮阀门调整泵送速率以达到更高的真空水平。

 

SPI Supplies Vacu Prep II配有安全联锁装置,可保障操作者的安全,以及防止设备损坏。前面板上配有紧急关闭开关。

典型的应用:

l  电子显微镜样品制备;

l  关于透射电镜和X射线分析的高真空碳镀层工作;

l  金属化合物电阻蒸发;

l  制备碳支持膜;

l  碳铂

l  旋转阴影

l  孔径清洗

l  石棉分析

l  故障分析

技术参数:

产品编号

ZB-

产品名称

SPI Supplies   Vacu Prep II真空蒸发溅射仪

尺寸大小

78.7 × 71.1 × 76.2 cm

重量

250磅(113.4kg

空气(汽门系统)

80

可选的排气(5-10磅)

电力

110V220V

机械泵需要回涡轮泵

泵必须能够85/分钟

 

 

 

 

 

 


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