速普仪器SEM/TEM电镜样品等离子清洗系统
报价 ¥50万
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- 进口品牌无油隔膜泵+分子泵组
- ≥85 L/s
- ≥0.7 m3/h
- ≤3E-6 Torr
- ≤300s
- 常规TEM品牌样品杆兼容
- 不少于2路TEM holders
- 远程RF射频源
- 13.56MHz RF电源，5-50W
- 触摸屏控制，一键式操作，安全互锁
- 预存不少于六组清洗工艺菜单
透射电镜等离子清洗仪SPC150概述
进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM
样品杆的真空存储、检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配三路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。
等离子清洗仪SPC150有机污染物清洗原理
SPC150 采用RF射频远程等离子源作为核心部件。离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的O活性自由基、O3臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出，最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。
等离子清洗仪SPC150表面改性亲水化原理
离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的等离子体与样品表面作用，提高样品表面能，实现样品表面由疏水性到亲水性的转变。
等离子清洗仪SPC150测试结果
-
等离子清洗仪处理TEM透射电镜样品清洗和活化半导体 2018-01-16
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 郑州大学 | 2022-04-29 |
| 山东大学 | 2021-12-09 |
| 中科院大连化学物理研究所 | 2021-11-04 |
| 中科院青岛能源所 | 2021-09-21 |
| 湖南大学 | 2021-08-19 |
| 武汉理工大学 | 2021-04-30 |
| 南开大学 | 2021-04-23 |
| 北京理工大学 | 2021-03-17 |
| 西安理工大学 | 2021-03-10 |
| 南方科技大学 | 2021-01-06 |
| 北京航空航天大学 | 2020-11-13 |
| 清华大学 | 2020-09-18 |
| 南开大学 | 2020-09-08 |
| 聊城大学 | 2020-08-27 |
| 厦门大学 | 2020-07-22 |
| 桂林电子科技大学 | 2020-05-27 |
| 中国计量科学研究院 | 2020-04-15 |
| 北京工业大学 | 2020-03-26 |
| 上海大学 | 2020-03-19 |
| 深圳信息职业技术学院 | 2020-03-05 |
| 中科院金属所 | 2020-02-28 |
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