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批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300
批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm，300mm尺寸晶圆。
产品特性 / Product characteristics
• 高产率以及低CoO
• 良好的刻蚀均一性（小于±5%/批）和再现性
• 干法刻蚀
• Damage-Free（远端等离子、低温工艺）
• 自对准接触电阻仅为湿法的1/2
• 灵活的装置布局
• 高维护性（方便的侧面维护）
• 300mm晶圆批处理：50枚/批
产品应用 / Product application
• 自对准接触形成工艺前处理
• 电镀工艺前处理
• 晶膜生长前处理
• Co/Ni自对准多晶硅化物的前处理
售后服务
1年
是
有
技术人员现场培训
2个月1次
软件免费重装，硬件维修
24小时到达
批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300信息由北京亚科晨旭科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300报价、型号、参数等信息，ASTchian客服电话：400-860-5168转4552，欢迎来电或留言咨询。
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