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技术数据
2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域:
小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术
1.基本装备：
根据组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本 1.7 - 2.6 升
供电电源：230 V
2.气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 ∅ 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm）
W6（约 ∅ 160 mm，长 180mm）
4.装载件
产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
5.电极：
单层或多层
真空腔室外部的一对电极
6.控制系统：手动、Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
7.压力测量：Pirani
8.计时器：数字 、模拟
9.发生器：
频率：
40 kHz：功率 0 - 100 W
13.56 MHz：功率 0 - 200 W
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
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