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Femto 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域：
分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术
1.基本装备
根据具体组件/选装件，外壳会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 1.9 - 6 升
供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位
2.真空腔室
圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 100 mm，长 278 mm 或长 600 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103）
矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 103 mm x 103 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm
3.装载件：
产品支架（选项：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末转鼓 ，散装件转鼓 ，铝板，不锈钢板，硼硅玻璃，石英玻璃
4.电机：单层或多层，RIE
5.控制系统
半自动型
Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)
6.压力测量：Pirani，电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）
7.计时器：数字
8.发生器
频率：
40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W
100 kHz：功率 500 W
80 kHz：功率 1000 W
13.56 MHz： 功率 0 - 200 W
2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
9.真空泵：不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）
10.其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
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