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荷兰SCIL公司简介
荷兰SCIL公司是知名的纳米压印设备供应商，是荷兰飞利浦公司投资的高科技公司之一，“SCIL基底保形压印光刻”技术，结合了小面积硬压与大面积软压的优势，真正意义上实现了12寸晶圆高质量无基底损伤保形的纳米压印，已成功用于12寸量产线，已经被国际上很多知名fab厂采用。
“SCIL基底保形压印光刻”是一种经济高效、稳健、高产量的工艺，可在多种材料上实现纳米分辨率图案。SCIL可实现在达 300 毫米的晶圆区域上提供经过验证的高质量压印。它可用于制作特征尺寸小于 10 nm 和套刻对齐精度小于 1 μm 的图案。
荷兰SCIL公司同时开发了的无机玻璃纳米压印光刻胶，可直接作为功能层使用，可直接省去2个工艺步骤，大大降低了生产成本。
SCIL 目前可提供2” 至 12”晶圆手动研发工具到全自动系统的全方位解决方案，并可以帮助客户优化设备、耗材和流程，以实现大批量生产。
SCIL 技术特色
- 即使在非平坦和弯曲的表面上也可以保证保形接触印刷（模板复制技术）。
- 独特的 SCIL 压印工艺可确保＜10 nm 分辨率、低图案变形和无颗粒损坏印模。
- 套刻对齐精度：< 1 μm
- Sol-gel的优异蚀刻特性可得到极高的蚀刻率。
- Sol-gel的的热稳定性、光学透明度和（UV）稳定性使其适合作为功能层。
- 使用热Sol-gel大大增加了母版寿命。
- 总体而言，SCIL可将超高的压印质量和产量与高吞吐量和低总体拥有成本相结合。
LabSCIL型科研级纳米压印系统简介
LabSCIL专为有兴趣开发 SCIL 流程和应用程序的大学、研究所和公司的研发实验室开发，对于对可用于小批量试生产的工具感兴趣的公司，LabSCIL将是理想的选择。
技术参数
操作 | 手动放片，纳米压印是全自动的 |
晶圆尺寸 | 最大8”，向下兼容 |
晶圆厚度 | 0.3 - 2.5 mm |
晶圆搬运 | 托盘手动加载 |
光刻胶类型 | Thermal sol-gel UV sol-gel UV organic |
压印技术 | 低力软模基底保形纳米压印 |
尺寸(WxLxH) | 1.8 x 1.4 x 2.2 m |
套刻精度 | < 1μm |
应用
纳米图案化是众多纳米光子应用的关键工艺步骤。下面提到的应用程序只是一个选择。其他应用包括：
- 增强现实和虚拟现实 (AR/VR) 光学
- MicroLED
- MEMS和3D传感
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