微波等离子去胶机VP-RS20真空腔体不锈钢材质,腔体容积20升,功率500W,射频频率13.56MHz,能对材料起到去胶、清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于芯片去胶、晶圆去胶、半导体刻蚀、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA等离子体去胶处理。
2年
是
无
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终身维护服务
对等离子清洗主机保修2年
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