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- 2.45GHz微波等离子源
- 400W
- 2路
- 触摸屏控制
- 自动泄压
- 数字显示
- 磁增强微波放电
- 小于40°C
微波等离子体刻蚀机VP-Q5等离子激发频率2.45GHz，真空腔体石英玻璃材料，腔体容积5升，中英文操作系统，触摸屏控制，频率2.45GHz有强的化学作用，适用于芯片微波刻蚀、晶圆去胶、半导体光刻胶去除、金属油污去除、半导体、塑料、PP、高分子等材料清洗，活化，蚀刻和改性。
售后服务
2年
是
无
提供相关技术支持及服务
终身维护服务
对等离子清洗主机保修2年
24小时内安排技术人员保修
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