手套箱专用等离子清洗机VP-R3分体式实现主机和真空腔体分离,既保留了等离子清洗机VP-R3自动化操作的便利及PLASMA处理效果,又实现把真空腔体分离,便于放入手套箱的狭小空间,解决了用户对PLASMA处理精细化的痛点。手套箱专用等离子清洗机VP-R3分体式是在VP-R系列基础上进行设计、研发,等离子体激发频率为13.56MHz,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32°C,不损伤样品,对材料表面起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、PI、二氧化硅、亚克力等几乎所有材料的PLASMA处理。
2年
是
无
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终身维护服务
对等离子清洗主机保修2年
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