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一、产品简介
CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备，优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便，性能稳定，实用性强，容易维护。
二、产品特点
1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
3. 真空仓体，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
4. 自动匹配器，功率无极可调。
5. 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，双路气体控制气体流量，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体分配均匀，经济实用。
6. HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
7. 弧形等离子激发板，等离子激发能力更强。
8. 分体式设计，便于手套箱内使用。
9. 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | VGB3 | VGB3Plus |
舱体尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
舱体容积 | 3L | 3L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计（标配） | |
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
60天
1年
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