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Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
1、多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力
Multi material film processing ability, low damage, high aspect ratio filling capability
2、独立工艺腔室，最多可支持 6 个工艺模块
Separate chamber and configure up to 6 process modules
3、优异的温度，颗粒控制能力
Excellent temperature control and particle control
4、配置灵活、大产能、低运营成本
Flexible configuration, higher throughput and lower CoO/CoC
技术参数
1、晶圆尺寸 6、8 英寸
2、适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝、铬等
3、适用工艺 倒装工艺、金属电极等
4、适用领域 新兴应用、科研、化合物半导体
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
8英寸通用物理气相沉积系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于8英寸通用物理气相沉积系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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