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1. 产品概述
WE3102系列 12英寸槽式清洗设备，可配备 i-Clean 多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能。
2. 设备用途/原理
WE3102系列 12英寸槽式清洗设备，可配备 i-Clean 多药液工艺槽，支持 DN unit, DIO3 等附属功能。软件量身定制，具备快速更新能力，较高的温度控制稳定性，超高的补水精度，精准的蚀刻速率控制，优秀的干燥效果。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12 英寸，适用材料 光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物。适用工艺 炉清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收。适用域 新兴应用、集成电路。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
12英寸槽式清洗设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于12英寸槽式清洗设备报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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