MPI高功率探针台TS2000-DP
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MPI高功率探针台TS2000-DP

报价:¥100万
型号: TS2000-DP
产地: 台湾
品牌: MPI
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英铂科学仪器(上海)有限公司
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核心参数
产品详情
简介
TS2000-DP是MPI推出的一款多功能8寸半自动高功率测试探针台,支持20°C至300°C温度范围内的晶圆高功率测量,最高测量能力达3kV(三轴)/10kV(同轴)和600A(脉冲)。该设备具备防电弧技术和多种仪器连接套件,适用于高压和高电流设备特性测量,尤其适合晶圆高功率测试需求。此外,其集成的SENTIO®软件套件提供了直观的操作界面,简化了用户培训过程。

产品概要:

TS2000-DP是MPI提供一套多功能且经济高效的8寸半自动高功率测试探针台,可在20°C至300°C的温度范围内进行晶圆载片上高功率应用的测量,且测量能力高达3kV(三轴)/10kV(同轴)和600A(脉冲)。

基本信息:

探针卡和微型定位器

TS2000-DP可提供最高12倍的高压(最高3kV三轴或10kV同轴)或4倍的多手指高电流(最高400A的微型定位器)。其具有的大量单探头,专用于防电弧高功率探针卡的的探针卡夹,使得该系统成为高功率设备特性测量的理想选择。

防电弧技术

该系统配备了ArcShield™,可防止卡盘和探针压板之间发生任何可能的电弧。防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力,并且可以使用帕申定律来防止焊盘之间产生电弧。特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放在高功率卡盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内,以浸没在液体中进行无电弧高压测试。此卡盘可在300°C最高可达10kV(同轴)。

仪器集成

TS2000-DP可以配置多种仪器连接套件,其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件,以便与测试仪器进行连接,例如Keysight B15005(3kV或10kV),包括集成的模块选择器或Keithley 2600-PCT-XB,以及集成的8020高功率接口面板。

软件套件SENTIO®

MPI自动工程探针系统有着多点触摸操作控制SENTIO® 软件套件——简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。对于RF应用,无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria® 与SENTIO®完全集成,为了遵循单一操作概念方法而易于使用。

技术优势:

1、可提供最高12倍的高压

2、具有防电弧技术

3、可配置多种仪器连接套件

应用方向:

可应用于晶圆的高功率测量。


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