“16mm 系列”— Linear16-x (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列最⼩ 的线性位移台,⽀ 持闭环控制线性位移台Linear16-x 主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 16*16*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 50 g & 1.5 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 3 mm&bull 闭环控制,内置位置传感器, 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear16-x, Speciication*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求,但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本,默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm2 质量10 g适⽤ 环境范围 3 基础参数温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线,20cm8 针脚材质聚酯材料(玻璃纤维填充), BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程3 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载50 g14 最⼤ 推⼒ 1.5 N传感器(闭环)15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程3 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um
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