非基体匹配定量

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非基体匹配定量相关的耗材

  • 2600114 赛默飞光谱配件 匹配箱
    2600114Matchbox IM2027 XS1 XS2匹配箱2600361SIM. DETECTOR DM302检测器3004382SAMPLING CONE GASKET石墨垫片3600811SKIMMER CONE PS8R截取锥3600812SAMPLE CONE 4450采样锥3600813SKIMMER CONE ADAPTOR锥座3600814SKIMMER CONE MTG SCREW锥座螺丝3600965RF GEN 2KW MODIFIEDRF发生器3601145QUARTZ TORCH C/W SCREEN LOCATION ID1.5石英炬管3601146DEMOUNTABLE TORCHWITH SCREEN LOCATION可拆卸炬管3601149TORCH BONNET石英护套3601219TORCH Ag SHIELD FIXED99.95% PURITYAg屏蔽圈3601289Platinum Xs/Xt Sample Cone铂金采样锥3601320SKIMMER CONE ADAPTER X SERIES 11镍锥座401317278261939/959 centre block for hg1中心块401322931741Unicam 9003 Filter Regulator Assembly气液分离器-原子吸收401322980521GF90 Contactor交流接触器420116693213POWER SUPPLY SPECTROMETERFP250 1010原子吸收MKI电源控制板420117208092M Series Lamp Mirror M1空心阴极灯反射镜420117208121M Series Drain Tube AssyM系列排水管组件420122800041GAS BOX (KV)WITH C2H2 REGMKI全自动气体模块
  • 德国贺利氏匹配Agilent1100/1200的2000小时长寿命氘灯
    为了满足广大分析仪器用户的需求,贺利氏特种光源有限公司最新提供用于可变波长检测器的DX 224/05 J 2000小时长寿命氘灯。 贺利氏DX 224/05 J 2000小时长寿命氘灯适用于安捷仑VWD 1100 (可变波长检测器), 可用以替代原装部件号为G1314-60100的氘灯。它能够很好地匹配于安捷仑 VWD 1100可变波长检测器。 根据分析仪器光源的重要质量标准, 贺利氏DX 224/05 J 2000小时长寿命氘灯在整个使用寿命期限内具有极高的稳定性和极低的噪音,信噪比更佳;且光输出的漂移低,长时间连续工作后仍能保证实验结果的重复性。
  • 贺利氏(heraeus)氘灯,备用氘灯/替换氘灯,可完美匹配绝大多数进口仪器
    Deutirium lamp 氘灯 氘灯放射出的持续光谱带范围集中在紫外波段的160-400 nm之间,这使氘灯成为高精度的分析测量仪器光源, 目前广泛用于液相色谱仪(LC)、紫外-可见分光光度计(UV-vis)、毛细管电泳仪(CE)等仪器。 作为世界领先的氘灯制造商,贺利氏为世界绝大多数的仪器制造商包括Agilent, Waters Thermo Perkin-Elmer等提供配套氘灯.高辐射强度、低噪音、稳定的能量输出、长寿命和极佳的重现性构成了贺利氏氘灯不可比拟的品质优势。 基于贺利氏与各大仪器制造商长久广泛的合作,因此,贺利氏提供的高品质氘灯可以完美的匹配您所使用的进口仪器,并且,贺利氏提供的氘灯品种非常齐全,不同型号的氘灯达数百种,几乎可以满足目前所有的进口分析仪器的使用要求。 仪器型号 OEM 部件号 订货号/型号 产地 质保使用时间 Shimadzu SPD-10A/20A 228-34016-02 HK086950 HNS 2000 Agilent1100/1200VWD Longlife 2140-0813(兼容G1314-60100) HK086924 GERMANY 2000 Perkin-Elmer Lambda series B0160917 DO650TJHNS 1000 Waters 2487 WAS 081142 HK086986 USA 2000 Waters 486 WAT 080678 HK086989 USA 2000 Waters 996/2996 WAT 052586 HK086947 GERMANY 2000 Dionex 160 320 170 340(U) 5053.1204 HK086901 GERMANY 2000 Dionex ultimate 3000 VWD L6999-52 / 6074.1110 HK086978 GERMANY 2000 Dionex ultimate 3000 DAD L9838 / 6080.2001 HK086981 GERMANY 2000 Gilson 118 119 151 153 155 156 100326 HK086976 GERMANY 1000 Beckman P/ACE MDQ 144-667 HK086951 GERMANY 1000 PE LC 200/785A N2920149 HK086944 GERMANY 1000 HITACHI LC 885-3570/890-2430HK086955 GERMANY 1000 HITACHI UV 885-1000 HK086946 GERMANY 1000 KNAUER K2500(1) PR18071E USA 1000 Varian 325/335 1110715400 HK086930 GERMANY 2000 Varian 330 DAD 393570502 HK086916 GERMANY 1000 更多型号匹配情况与产品报价,请下载查看产品说明书。 注:我公司为贺利氏氘灯浙江地区特约经销商,目前我公司对贺利氏氘灯有一系列的优惠政策 欢迎致电我公司客服(400-0717-168)详询本产品信息及优惠活动内容。

非基体匹配定量相关的仪器

  • ICP2060T电感耦合等离子体发射光谱仪特别适合用于测定各种石化产品中常量、微量、痕量元素的含量。 仪器拥有专业完善的油品直接进样测量技术,可智能调节氧气流量消除积碳影响,高效、抗干扰性强、自动化程度高、操作简便、稳定可靠、测试范围广、分析速度快、检出限低等特点性能特点先进的油品直接进样测量技术 智能调节氧气流量,完全消除积碳影响 可测元素70多种 分析速度快,一分钟可测5-8个元素 多元素同时分析,客户可以自由选择元素数量与安排测量顺序 检出限低,可达到ppb量级 线性动态范围宽,高达6个数量级,高低含量可以同时测量 分析成本低,一瓶氩气可以用10-12小时氩气消耗量低 氩气总消耗量小于14L/min.波长范围宽 选择3600条刻线光栅,波长范围可达190nm-500nm选择2400条刻线光栅,波长范围可达190nm-800nm全自动化设计 自动化程度高,整台仪器除了电源开关,仪器所有功能都是通过计算机控制,可靠、安全、方便。性能优异的增强有机进样系统 天瑞特有的增强有机进样系统,完美支持油品直接进样测量,可针对不同种类的样品智能精密调节氧气流量,完全消除积碳影响,高效、稳定,满足不同客户的需求。气体流量自动控制 进样系统中,载气、等离子气、辅气、助燃气全部采用先进的质量流量控制器(MFC)来控制,具有流量连续可调、流量稳定等优点,确保了进样系统的稳定,为光源的稳定提供了坚强的保障。蠕动泵 四通道全自动设计,转速可根据流量需求调节设置,确保进样系统稳定。稳定先进的全固态射频电源 仪器采用的射频电源为天瑞仪器自主研发的全固态射频电源,具有体积小、效率高、输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点,进一步提高了仪器的稳定性与安全性。快速准确的全自动匹配功能 负载终端采用天瑞仪器自主研发的全自动匹配技术,具有匹配速度快、精度高等优点,适合油品等复杂基体直接进样;确保了输出功率大限度的加到了负载上面,提高电源的使用效率,从而提高仪器的稳定性,并使得整个点火过程方便简单。性能稳定的光学系统 光路系统精密恒温,温度稳定性±0.1°C;分光室采用二重防震设计,大幅提高了仪器的稳定性。人性化的设计,使得检测变得轻松、惬意一键点火 配合天瑞的固态电源与自动匹配技术,ICP2060T完美的实现了一键点火功能。用户只需点击点火按钮,仪器自动进行气体吹扫、气体流量检查、点火、匹配等诸多动作,并将信息实时传递给客户,让客户省心省事。观测高度调节自动化 可通过软件调整炬焰的观测高度减少基体效应,在佳的位置得到好的测量效果。强大的图形诊断功能 强大的图形诊断功能可以帮助客户充分的了解当前仪器的工作状态,并通过适当的参数设置来观察不同条件下仪器的运行状况,以把握佳的测量条件。多元素自动测量 选择需要测量的各个元素,设定好测量参数,一切交给仪器,后直接得到所有元素的测量结果,简单、省事。强大的数据库管理 拥有几千条谱线,可以根据需要与爱好选择适当的谱线,避开可能存在的干扰,为您提供更多的选择,更合理的推荐,让测试变得更加专业与准确。软件拥有自主知识产权,功能强大,操作人性化 ICP2060T 软件功能强大,具有中英文自动切换功能,可进行定性、定量分析;有数据再处理功能;自动计算元素含量,自动生成测试报告;具有数据筛选功能,剔除不想要的数据;数据库管理完善,可以自由保存与删除。 测试完毕后可以生成检测报告,检测报告内容可以根据用户需求选择,包括方法名称、仪器型号、元素、波长、强度、含量、相对标准偏差、单位、检测员、备注、校正人等,同时分析结果可以保存为pdf、word、excel等文件,方便用户分析。软件界面设计人性化,简单明了,大大提高了分析效率。软件主界面集成软件的主要功能,包括控制等离子点火和灭火、仪器状态、分析参数、分析谱线、波长谱图显示、曲线拟合、数据处理、历史谱图、历史数据、用户管理等诸多功能。产品规格与技术指标体积:台式,放在桌面,1.5m×0.8m×0.8m固态电源 工作频率:27.12MHz频率稳定性:0.05%匹配方式:自动匹配输出功率:800W ~1600W,连续可调,电源效率大于65%输出功率稳定性:≤0.2%输出工作线圈内径25mm、3匝,配三同心外径20mm的石英炬管同轴型雾化器外径6mm扫描分光器光路:Czerny turner型焦距:1000mm 光栅规格:离子刻蚀全息光栅,刻线密度3600L/mm或2400L/mm;刻划面积(80×110)mm分辨率:≤0.008nm(3600线光栅) ≤0.015nm(2400线光栅)扫描波长范围:3600线光栅:(190~500) nm;2400线光栅:(190~800) nm电子测量及控制电路光电倍增管规格:R212/R928光电倍增管负高压:(-50~-1000)V光电倍增管电流测量范围:(10-12~10-4)A信号采集:VF转换计算机系统主机:联想品牌电脑显示器:17英寸液晶显示器打印机:Canon喷墨打印机整机技术指标扫描波长范围:190nm~500nm(3600L/mm光栅),190nm~800nm(2400L/mm光栅)测量范围含量:0.01ppm-几千ppm;重复性:(即短期稳定度)相对标准偏差RSD≤1.5%;稳定性:相对标准偏差RSD≤2%;测试速度:5-8元素/每分钟配置:1、ICP2060T通信网线2、气管3、交流参数稳压器4、气体减压阀5、ICP2060T电源线6、自动温控冷却循环水箱7、接地铜板8、水管9、接地铜带10、炬管11、进口雾化器12、增强有机进样系统工作环境贮存运输温度:15℃-25℃贮存运输相对湿度:≤70%电源适应能力:220±10v 50-60Hz工作湿度:≤70%工作温度:15℃-30℃应用领域测试原油中的30多种元素,主要有Fe、Na、Mg、Ni、V、Ca、Pb、Mo、Mn、Cr、Co、Ba、As等。 测定汽油中的铁、锰、铅、硅等;润滑油中添加剂、磨损元素的测定;基础油中多元素的测定;甲醇中钠元素的测定;油田示踪剂的测定等。
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  • 优势推动Bio UHPLC超越反相 赛默飞UltiMate? 3000生物兼容快速分离系统(BioRS)在UHPLC分离中能够完美地匹配生物分子分离过程中各种色谱模式的要求。这种系统超越了反相UHPLC:是真正的Bio UHPLC。 高分离度Bio UHPLC Ultimate 3000 BioRS系统以UltiMate 3000快速分离技术为依托,可以满足生物样品在高分离度生物UHPLC色谱柱上分离所需要的高压要求。这种先进技术结合生物兼容性的低扩散流路,可为复杂样品如蛋白质、多肽、生物治疗药物等的分析提供最高的峰容量和最高的灵敏度。赛默飞Viper?手拧接头技术以几乎零死体积的最优性能,确保了稳定的系统连接。对于肽谱、单克隆抗体的电荷变异体分析、多糖分析,或是核酸分析,UltiMate 3000 BioRS系统能满足任何生物分子色谱分离分析的高要求。 随时随地信赖您的生物色谱分析结果 这一系统可在苛刻的溶剂条件下,可靠、稳定地进行生物色谱分析。整个流路系统(泵、自动进样器、柱温箱和检测器)均为耐腐蚀材料,减少了分析物与管路内部表面相互作用的风险,延长了特殊功能生物色谱柱的寿命,即使在高盐或极端pH条件下也是如此。最高的效率及灵活性 UltiMate 3000 BioRS系统在高流速条件下仍然能够达到最佳分离,同时保持最高分离度:? 压力上限达到1000 Bar(15,000psi)? 最高流速达8mL/min? 进样周期短 (20 sec)? 柱温范围宽(5℃-110℃)? 超快的数据采集和处理(最高达200 Hz) 与传统的生物色谱分析相比, UltiMate 3000 BioRS系统能够实现更快的梯度变化和更短的运行时间。其结果大大提高了典型模式下如离子交换色谱(IEC)、反相(RP)色谱和亲水作用(HILIC)色谱的样品通量。与质谱的无缝连接 从使用赛默飞离子阱、三重四极杆、高分辨率Q Exactive?和Exactive Plus质谱仪进行常规的定量或定性分析,到使用赛默飞Orbitrap?组合质谱仪完成复杂的研究,基于UHPLC+ 理念的UltiMate 3000BioRS系统都能够提供无缝连接。多功能部件实现可扩展分离 一套能满足您各种分析应用的仪器系统UltiMate 3000 BioRS系统通过充分利用RSLC技术及其本身的宽流速-压力范围,能够出色地支持各类广泛的分离应用:不论是开发、鉴定,还是质量控制(QC),都可在任何状态下表征分子的特性。生物兼容性的溶剂传输 以生物兼容性RS泵系列为核心的UltiMate 3000 BioRS系统是先进生物色谱分离的最佳选择:? 压力上限达到1000 Bar(15,000 psi)? 二元、四元和双三元梯度溶剂传输? 诸如串联或并联LC的高效解决方案 BioRS泵能够为快速和超高分辨率的(生物)应用提供最先进的性能,即使是在高盐和强酸强碱条件下也是如此。
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  • 产品简介:100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD频率为13.56MHz,专门与本司1"的磁控溅射头配用,可搭建成一套较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。 产品型号100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD技术参数1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz2、输入功率:5W-100W(可调),稳定性±1% 3、射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005%4、匹配:手动匹配5、冷却:风冷6、噪音:50dB产品规格尺寸:390mm×260mm×105mm可选配件1、1"高真空磁控溅射头,可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。 2、同时购买100W射频发射器和1"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射  头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"。 3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。
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非基体匹配定量相关的试剂

非基体匹配定量相关的方案

  • 钛铁矿的紫外纳秒和飞秒激光剥蚀特性:非基体匹配定量的影响(英文原文)
    使用飞秒激光电感耦合等离子体质谱仪分析钛铁矿中57Fe和49Ti的浓度大约比NIST SRM 610高1.8倍。与193nm准分子激光器相比,257nm 飞秒激光器的元素分离量较小。采用193nm准分子激光剥蚀时,激光能量密度的选择对钛铁矿元素分离有显著影响。与飞秒激光相比,纳秒激光生成的剥蚀坑和沉积气溶胶形貌的扫描电镜图像显示了更大的熔化效应,烧蚀坑周围颗粒沉积面积更大。在纳秒剥蚀坑周围喷出物主要由大滴再凝固的熔融物质组成;然而,在飞秒剥蚀坑周围的喷出物是由形状“粗糙”的微粒团块组成。这是纳秒激光和飞秒激光不同剥蚀机制的结果。使用NIST SRM 610作为193nm准分子LA-ICP-MS和fs-LA-ICP-MS的参考材料,可以对钛铁矿样品进行非基体匹配条件下的定量分析。采用193nm准分子LA-ICP-MS 在12.7 J cm-2高激光能量密度条件和采用fs-LA-ICP-MS对钛铁矿样品中的大部分元素进行分析,得到的结果一致。
  • 利用LA-ICP-MS及非基体匹配标样校正方法定量分析环境粉末中的微量元素(英文原文)
    LA-ICP-MS 相比于传统的环境样品分析方法(消解样品转化为溶液测试)更具吸引力。然而,利用LA-ICP-MS对样品定量需要利用标样,这些标样往往需要与样品基体匹配并且目标元素浓度要与未知样品相近。缺乏有效的标样限制了LA-ICP-MS更广泛应用。本工作提出了一种利用LA-ICP-MS准确分析环境粉末中微量元素含量的方法。为了进行LA-ICP-MS分析,样品粉末与内标(氧化银)还有粘合剂(四硼酸钠)混合,然后压饼成型。定量是通过使用具有不同基体组成和微量元素含量的参考物质确定的校准函数来完成的,这些参考物质与样品前处理一样。利用这种方法,由基体引起的剥蚀差异而导致的单个参考物质物理化学性质的改变可以消除。此外,与ICP相关的基体效应通过碰撞反应池技术可以降到*。该方法的适用性通过分析四种Cd, Cu, Ni, Zn含量不同的参考物质NIST SRM1648a(城市颗粒物)、NIST SRM 2709(圣华金土壤)、BCR 144(污泥)和BCR 723(道路灰尘)说明。信号的计算通过交替使用三个参考物质来计算校准函数进行,而其余的第四种参考物质作为未知样品,所有元素分析结果与标准值高度吻合
  • 耐蒸煮复合包装复合层间热缩性能匹配程度的判断
    耐蒸煮复合包装复合层间热缩性能匹配程度的判断摘要:在实际生产中,蒸煮后包装袋翘曲甚至脱层是耐蒸煮包装常见的质量问题,这与薄膜受热后各复合层材料的尺寸变化不匹配有关。本文通过对各复合层薄膜热缩性能的检测来判断耐蒸煮复合包装各复合层间热缩性能的匹配性,以避免因此而导致的耐蒸煮包装袋加热灭菌后翘曲或者脱层的质量问题。关键词: 耐蒸煮包装;复合层;热缩性能;翘曲;脱层了解关于更多相关仪器信息,您可以登陆www.labthink.com查看具体信息或致电0531-85068566咨询。Labthink兰光期待与行业中的企事业单位增进技术交流与合作。

非基体匹配定量相关的论坛

  • 请教基体匹配

    用ICP测试重金属,基体匹配应当是最能消除干扰的方法吧,我想问一下,基体匹配是不是就是将标准曲线溶液的基体和样品的基体大致相同啊? 如果是这样的话,那要测试钢(含铁量很高)中的铅等元素,岂不是要消耗大量的铁标液? 我这里只有1000PPM的铁标液,不知道哪里有更高浓度的便宜的铁等标液?搞点来做基体匹配.

  • ICP基体匹配

    各位老师,请问ICP存在谱线干扰时,进行基体匹配来校正,那么在不知道样品基体的情况下怎么进行基体匹配呢,求告知

非基体匹配定量相关的资料

非基体匹配定量相关的资讯

  • 新疆理化所创制全波段相位匹配晶体
    短波紫外全固态相干光源具有光子能量强、可实用化与精密化、光谱分辨率高等特点,在激光精密加工、信息通讯、前沿科学和航空航天领域颇具应用价值。获得全固态短波紫外激光的核心部件是非线性光学晶体。在非线性光学过程中,若使基频光的能量源源不断地转换到倍频光,需要保持基频光激发的二次极化谐波和倍频光在晶体中位置时刻相同,但由于晶体的本征色散导致基频光和倍频光的折射率不同,进而导致两束光在晶体中群速度不同,无法实现倍频光的持续增长,此为相位失配。因此,在晶体中实现应用波段相位匹配被普遍认为是重要的技术挑战,决定最终激光输出的功率和效率。目前有多种技术方案可供选择,如晶体各向异性的双折射相位匹配技术、晶体内部自发畴结构的随机准相位匹配技术和人工微结构准相位匹配技术等。其中,利用晶体各向异性的双折射相位匹配技术是应用最广泛的弥补相位失配的有效途径。该技术利用各向异性晶体的双折射特性,使一定偏振的基频光沿晶体的特定方向入射,或者改变晶体的温度,实现角度或者温度相位匹配,即使基频光和倍频光在晶体中特定方向传播时的折射率相同。该方案转换效率高,但现有晶体均存在相位匹配波长损失,即可用晶体紫外截止边和最短相片匹配波长的差值表征(λcutoff-λPM)。中国科学院新疆理化技术研究所晶体材料研究中心致力于新型紫外、深紫外非线性光学晶体的设计与合成。该团队前期基于领域前沿进展的研究和对非线性光学晶体双折射相位匹配现状的剖析,在特邀综述中首次提出关于非线性光学晶体一种理想状态的假设,即在基于双折射相位匹配的非线性光学晶体中,是否可以实现“紫外截止边等于最短匹配波长”的理想状态?若该假设在晶体中得以实现,将为晶体在整个透过范围内均实现双折射相位匹配提供新途径和新思路。近期,该团队创制一类新非线性光学晶体即全波段相位匹配晶体。该类晶体基于应用广泛的双折射相位匹配技术,且可以实现对晶体材料透过范围内任意波长的相位匹配。该研究揭示了全波段相位匹配晶体的物理机制,从折射率的微观表达及双折射色散曲线、折射率色散曲线和相位匹配等光学条件等角度出发,给出两种独立的全波段相位匹配晶体的评价参数,并将此评价参数应用于一些经典的非线性光学晶体材料,讨论以此参数评估晶体相位匹配波长损失的可行性和普适性。基于此,研究获得一例非线性光学晶体(GFB)。实验通过多级变频的方案或光参量技术方案,研究晶体在整个透过范围内的直接倍频输出能力,并基于相位匹配器件已经实现193.2-266 nm紫外/深紫外可调谐激光输出,验证其该晶体全波段相位匹配能力,使该晶体成为目前首例且唯一一例实现了全波段双折射相位匹配的紫外/深紫外倍频晶体材料。该材料193.2 nm处晶体透过率deff = 1.42 pm/V)、短相位匹配波长(~194 nm)和高抗激光损伤阈值(BBO@ 266/532 nm, 8 ns, 10 Hz)等,是颇具应用前景的266 nm激光用非线性光学晶体材料。相关研究成果以全文形式发表在《自然光子学》(Nature Photonics)上。研究工作得到科技部,国家自然科学基金委员会和中国科学院等的支持。GFB晶体结构、微观性能分析及晶体照片
  • 中国科学家创制全波段相位匹配晶体
    激光是20世纪人类最重大的发明之一,60多年来,13项诺贝尔奖与激光技术密切相关。非线性光学晶体可用来对激光波长进行变频,从而扩展激光器的可调谐范围。近期,我国科学家成功创制了一种新型非线性光学晶体——全波段相位匹配晶体,为整个透光范围内实现双折射相位匹配提供了新思路。   该研究由中国科学院新疆理化技术研究所晶体材料研究中心潘世烈团队完成,相关成果于近期在国际学术期刊《自然-光子学》在线发表。   非线性光学晶体是获得不同波长激光的物质条件和源头。在晶体中实现应用波段相位匹配被普遍认为是重要的技术挑战之一,决定最终激光输出的功率和效率。目前有多种技术方案可供选择,其中利用晶体各向异性的双折射相位匹配技术是应用最广泛的弥补相位失配的有效途径。该方案转换效率高,但现有晶体均存在相位匹配波长损失,即可用晶体紫外截止边和最短相位匹配波长的差值表征。   团队前期在特邀综述(Angew. Chem. Int. Ed. 2020, 59, 20302-20317)中提出关于非线性光学晶体一种理想状态的假设,即在基于双折射相位匹配的非线性光学晶体中,是否可以实现“紫外截止边等于最短匹配波长”的理想状态?近期,该团队创制了一类新非线性光学晶体,即全波段相位匹配晶体。该类晶体基于应用广泛的双折射相位匹配技术,且可以实现对晶体材料透过范围内任意波长的相位匹配。该研究揭示了全波段相位匹配晶体的物理机制,并以此为指导获得一例非线性光学晶体(GFB)。基于晶体器件实现了193.2-266 nm紫外/深紫外激光输出,该材料193.2 nm处晶体透过率
  • 上海精测提出光谱匹配度新指标
    光学散射测量方法,也称为光学关键尺寸(OCD)测量方法,与扫描电子显微镜、原子力显微镜等微观形貌测量手段相比,光学散射测量技术具有速度快、成本低、无接触、非破坏等优点,因而在先进工艺在线监测领域获得了广泛应用。光学散射测量技术获得的测量信号仅是一组关于入射波长或入射角度分布的光谱信号,如反射率、椭偏参数、穆勒矩阵等,需要通过一定的数据分析手段才能从测量信号中提取出样品待测参数。在完成待测参数提取之后,需要通过理论光谱和测量光谱的匹配程度来判断所得结果的可靠性,常用的评价指标有两个:偏差指数和相关系数。第一个指标偏差指数(DI)反映了测量光谱和理论光谱的绝对偏差,绝对偏差越小,测量光谱和理论光谱匹配度越高;第二个指标相关系数用于反映表征测量光谱和理论光谱波峰和波谷的对齐程度,相关系数越大,二者波峰和波谷的对齐程度越高。然而,偏差指数和相关系数是两个独立的评价标准,传统的光学散射测量的分析方法只会单独使用偏差指数和相关系数二者之中的一个指标对测量结果进行可靠性评价。若只使用相关系数指标,在偏差指数不同时,测量光谱和理论光谱的波峰和波谷不匹配;若只使用偏差指数指标,当相关系数不同时,测量光谱和理论光谱会出现错峰的现象,由此传统的分析方法难以获得正确的评判结果,难以判断量测结果是否可靠,导致量测的鲁棒性较差,从而不能准确判断加工工艺是否达标。针对上述这些问题,上海精测半导体在2022年1月10日申请了一项名为“一种光学测量数据分析方法、分析系统及电子设备”的发明专利(申请号:202210022621.4),申请人为上海精测半导体技术有限公司。根据该方案目前公开的相关资料,让我们一起来看看这项技术吧。如上图,为该专利中发明的光学测量数据分析方法的流程示意图,首先,系统会对多个检测样本进行光谱分析,获取每个检测样本的光谱偏差指数和光谱相关系数。其中,偏差指数为光谱偏差指数,相关系数也为光谱相关系数。其次,结合光谱偏差指数、光谱偏差指数参数、光谱相关系数和光谱相关系数参数创建光谱匹配度指标数学模型,基于数学模型计算并使得每个检测样本的光谱匹配度指标值均大于预设的光谱匹配度指标阈值。最后,对待测件进行光谱分析,以获取待测件的光谱偏差指数和光谱相关系数,并基于数学模型计算待测件的光谱匹配度指标值。如果待测件的光谱匹配度指标值大于预设光谱匹配度指标阈值,则判断该待测件为正常件;否则,待测件则为异常件。通过光谱分析,可以计算理论光谱与测量光谱的偏差指数和相关系数,并通过调整物理模型中的检测样本特征参数,使得基于物理模型计算所得仿真光谱与测量光谱匹配。此外,在上述过程中,还采用了全局优化算法和遍历法来更新相关系数参数的初值和偏差指数的初始值,通过遍历算法将相关系数参数和偏差指数参数进行采样,然后遍历选出其中结构最优的参数取值。如上图,为上述光学测量数据分析系统的结构示意图,该系统中包括有样本分析模块、光谱匹配度指标数学模型创建模块和分析模块。样本分析模块用于对多个检测样本进行光谱分析,获取每个检测样本的光谱偏差指数和光谱相关系数。光谱匹配度指标数学模型创建模块用于获取光谱偏差指数参数和光谱相关系数参数,结合光谱偏差指数、光谱偏差指数参数、光谱相关系数和光谱相关系数参数创建光谱匹配度指标数学模型。并基于数学模型计算每个检测样本的光谱匹配度指标,使得每一个检测样本的光谱匹配度指标值均大于预设光谱匹配度指标阈值。分析模块用于对待测件进行光谱分析,获取待测件的光谱偏差指数和光谱相关系数,基于数学模型计算待测件的光谱匹配度指标值,并根据该指标值判断待测件是否正常。以上就是上海精测半导体发明的光学测量数据分析方法及系统,该方案首创性的将偏差指数和相关系数都纳入光谱匹配度指标中,从而可同时从测量光谱与仿真光谱的绝对偏差和波峰及波谷对应情况两个方面对测量结果的可靠性进行评价,以此提高光谱匹配度的准确性和鲁棒性。
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