电子束刻蚀系统

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电子束刻蚀系统相关的厂商

  • 400-860-5168转4527
    公 司 简 介深圳市蓝星宇电子科技有限公司-蓝星宇科技(香港)有限公司,经过十多年的半导体/微电路/光电专业技术沉淀,可以根据客户特殊要求提供定制化服务,研发设计组装:紫外臭氧清洗机(UV清洗机), 晶圆清洗机,等离子清洗机/去胶机,超声/兆声清洗机等,拥有自主品牌专利及注册商标。公司自成立以来一直专注于半导体/微电路和光电/光学领域的设备集成及技术服务,拥有一支在半导体制造、微电路及光电/光学等领域经验丰富的专业技术团队。我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信共创价值共赢的企业文化,为广大中国及海外客户提供最先进的仪器设备和材料的整体解决方案。 应用领域: 半导体/微纳加工,微电路,光电/光学, 材料科学等领域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究院所,科技企业等。目前蓝星宇科技已与众多国际知名半导体制造设备及检测设备企业建立了良好的长期合作关系:半导体/微纳,光电/光学 产品主要有: 德国ParcanNano(Nano analytik)针尖光刻机,电子束光刻机EBL, 激光直写光刻机,紫外光刻机,微纳3D打印机, 德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积, 英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机, 日本爱发科ULVAC生产型磁控溅射装置/干法刻蚀机, 德国/法国微波等离子沉积机MPCVD, 芬兰Picosun原子层沉积机, 日本/德国电子显微镜/FIB-SEM, 日本理音RION液体光学颗粒度仪, 德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪, 美国Sonix超声波显微镜, 德国KSI超声波显微镜, 德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 俄罗斯Optosystem准分子激光器, 日本SEN UV清洗机/UV清洗灯, 美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管, 德国等离子清洗机/去胶机等先进技术产品。我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务,为高等院校, 科研院所,科技企业等高端客户提供仪器设备和材料。 客户参考(排名不分先后):企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华高新科技技股份, 浙江中能合控股集团, 四川信通电子科技等。科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 中国科学院理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。我们热诚欢迎国内外客户, 先进仪器设备/材料制造商, 科技企业及医疗机构与我们联系开展各层面的合作共创价值共赢!产品:光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机ALD),等离子刻蚀机ICP/RIE,去胶机,双光子微纳3D系统,准分子激光器,颗粒度仪, 原子力显微镜,电子显微镜/FIB-SEM,超声波扫描显微镜, 开封机,太阳能吸收率发射率检测仪,紫外臭氧清洗机,UV清洗机,晶圆清洗机,UV清洗灯,曝光灯,光刻胶/UV胶,晶圆/硅片/外延片等。联系方式: Johny 廖敬强GM:13538131258,0755-29698758 Q:583129932,johny.liao@lxyee.net Kelly 徐翠兰:15915408056,0755-81776600 Q:1053054539, kelly.xu@lxyee.net 深圳地址:深圳宝安沙井共和第四工业区昊海弘工业园A6栋7楼761-764 香港地址:Flat/RM 803 Chevalier House 45-51 Chatham Road South Tsim Sha Tsui KL HK . TEL:0852-26681868, 26681899 感谢您的关注 Thanks for your attention ^_^
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  • 400-860-5168转6134
    南通宏腾微电子技术有限公司(NTHT Semiconductor Technologies Limited)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商。南通宏腾微电子技术有限公司所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。南通宏腾微电子目前代理的主要产品包括: - 霍尔效应测试仪; - 快速退火炉; - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉; - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机 - 探针台,低温探针台,微探针台; - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机; - 磁控溅射镀膜机; - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备; - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪;-PECVD\CVD; -脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机 等等…
  • 400-860-5168转3241
    载德半导体技术有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商,载德所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体高新企业。载德半导体技术有限公司目前代理的主要产品包括: - 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System); - 快速退火炉(RTP); - 回流焊炉,真空烧结炉(Reflow Solder System); - 探针台(Probe Station),低温探针台(Cryogenic Probe Station); - 贴片机(Die Bonder),划片机(Scriber),球焊机/锲焊机(Wire Bonder); - 原子层沉积系统(ALD),等离子增强原子层沉积设备(PEALD); - 磁控溅射镀膜机(Sputter),电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator),热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator),脉冲激光沉积系统(PLD) - 低压化学气相沉积系统(LPCVD),等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),快速热化学气相沉积系统(RTCVD); - 反应离子刻蚀机(RIE),ICP刻蚀机,等离子体刻蚀机; - 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate); - 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe),光反射膜厚仪(Reflectometer); 等等...
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电子束刻蚀系统相关的仪器

  • 请联系:张先生一、设备简介纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是的方法之一。电子束光刻系统(EBL)又称电子束直写(EBD)或电子束曝光系统。 日本CRESTEC是世界上制造电子束光刻设备的厂商之一,其制造的电子束光刻机具有电子束稳定,电子束定位精度高以及拼接套刻精度高等特点,赢得了科研机构以及半导体公司的青睐。二、设备特点CRESTEC CABL系列采用恒温控制系统,使得整个主系统的温度保持恒定,再加上主系统内部传感装置,使得电子束电流稳定性,电子束定位稳定性,电子束电流分布均一性都得到了极大的提高,其性能指标远远高于其它厂家的同类产品,在长达 5 小时的时间内,电子束电流和电子束定位非常稳定,电子束电流分布也非常均一。三、设备参数型号CABL-UH(130kV)系列CABL-AP(50kV)系列电子发射枪/加速电压范围TFE(ZrO/W)/25~130kVTFE(ZrO/W)/5~50kV加速电压130 kV,110 kV,90 kV50kV,30kV电子束直径1.6nm2.0nm (研发) /3.0nm (量产) 最小线宽<10nm<10/20nm扫描方式矢量扫描(x, y)(标准)矢量扫描(r,θ),光栅扫描,点扫描(可选)矢量扫描(x, y)(标准)矢量扫描(r,θ),光栅扫描,点扫描(可选)高级光刻功能场尺寸调制光刻,轴对称图案光刻场尺寸调制光刻,轴对称图案光刻写场的尺寸30μm² ,60μm² ,120μm² ,300μm² ,600μm² , 1000μm² 30μm² - 1000μm² (50kV) (研发) 30μm² - 1500μm² (50kV) (量产)加工晶圆尺寸4/6/8寸,其他尺寸和形状的工件都可以用我们的柔性装置进行安装4/6/8寸CAD软件专用的CAD(标准),GDSⅡ转换(可选),DXF转换(可选)专用的CAD(标准),GDSⅡ转换(可选),DXF转换(可选)操作系统WindowsWindows
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  • 电子束光刻系统 400-860-5168转4552
    电子束光刻系统 产品特点1.采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪 2.出色的电子束偏转控制技术 3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率(address size)可达0.0012nm 4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.01mrad 5.应用领域广泛,如微纳器件加工,Si/GaAs 产品参数产品参数1.最小线宽:小于10nm(8nm available) 2.加速电压:1-50kV 3.电子束直径:小于2nm 4.套刻精度:20nm(mean+2σ) 5.拼接精度:20nm(mean+2σ) 6.加工晶圆尺寸:4-8英寸(standard),12英寸(option) 7.描电镜分辨率:小于2nm 产品介绍产品介绍纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技 术制作中是zui好的方法之一。为21世纪先进纳米科技提供尖端 的电子束纳米光刻(EBL)系统,或称电子束直写(EBD)、电子束爆光系统。 系列zui小线宽可达8nm,zui小束斑直径2nm,套刻 精度 20nm(mean+2σ),拼接精度 20nm(mean+2σ)。
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  • 电子束光刻系统EBL (E-Beam Lithography)电子束直写系统 、 电子束曝光系统纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作的方法之一。 技术参数:1.最小线宽:小于10nm(8nm available) 2.加速电压:5-50kV 3.电子束直径:小于2nm 4.套刻精度:20nm(mean+2σ) 5.拼接精度:20nm(mean+2σ) 6.加工晶圆尺寸:4-8英寸(standard),12英寸(option) 7.描电镜分辨率:小于2nm主要特点:1.采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪 2.出色的电子束偏转控制技术 3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率(address size)可达0.0012nm 4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.01mrad 5.应用领域广泛,如微纳器件加工,Si/GaAs 兼容工艺,研究用掩膜制造,纳 米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻(Mix & Match),图形线宽和图形位移测量等。
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电子束刻蚀系统相关的资讯

  • 武汉大学预算500万元购买1套扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析系统
    3月30日,武汉大学公开招标,购买扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析系统(进口)1套,预算500万元。 项目编号:HBT-13210048-210792  项目名称:武汉大学扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析采购项目  采购需求:  扫描电镜+电子束刻蚀+能谱分析系统(进口)1套。  合同履行期限:交货期为合同签订后6个月内,质保期1年。  本项目( 不接受 )联合体投标。  开标时间:2021年04月22日 09点30分(北京时间)
  • 浙江大学1400.00万元采购电子束刻蚀
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 电子束曝光系统(ZJ-2263261-06G)采购公告 浙江省-杭州市-西湖区 状态:公告 更新时间: 2022-11-26 项目概况 电子束曝光系统项目的潜在供应商应在浙江国际招投标有限公司(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼317室)获取采购文件,并于 2022年12月15日09点30分(北京时间)前提交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:ZJ-2263261-06G 2.项目名称:电子束曝光系统 3.预算金额:1400.0000万元(人民币) 4.采购方式:公开招标 5.采购需求: 序号 项目名称 数量 单位 预算金额(万元) 简要技术描述或基本概况介绍 备注 1 电子束曝光系统 1 项 1400.0000 电子束曝光系统采购,详见采购文件。 / 6.合同履行期限:合同签订后18个月内。 7.本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求:无; 三、获取招标文件 时间: 2022年11月25日至 2022年12月2日,每天上午 8:30至 11:30,下午 13:30至 17:00(北京时间,法定节假日除外 ) 地点:浙江国际招投标有限公司(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼317室) 方式:现场报名/或邮件报名 售价:每本人民币500元(售后不退) 购买文件时应提交企业法定代表人授权委托书或单位介绍信(留存)、营业执照复印件、标书发票开票资料、满足投标人资格要求的证书原件扫描件加盖公章、报名表word版(如邮件报名需附上报名费汇款单,单位名称:浙江国际招投标有限公司。开户银行:工商银行杭州市武林支行。账号:1202021209906782015。资料发至466740141@qq.com)。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2022年12月15日09点30分(北京时间) 地点:浙江国际招投标有限公司301开标室(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼301室) 五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的,可以自收到采购文件之日(发售截止日之后收到采购文件的,以发售截止日为准)或者采购文件公告期限届满之日(公告发布后的第7个工作日)起7个工作日内,以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。 2.未经报名登记并获取采购文件的供应商参与本项目投标,将被拒绝。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:浙江大学 地 址:杭州市西湖区余杭塘路866号 联系人:俞老师 联系电话:15005836761 2.采购代理机构信息 名 称:浙江国际招投标有限公司 联系人:谢凯枫 联系电话:0571-89731841 传真:0571-89731841 地址:浙江省杭州市西湖区文三路90号 质疑联系人:王麟; 电话:0571-81061839 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:电子束刻蚀 开标时间:2022-12-15 09:30 预算金额:1400.00万元 采购单位:浙江大学 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:浙江国际招投标有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 电子束曝光系统(ZJ-2263261-06G)采购公告 浙江省-杭州市-西湖区 状态:公告 更新时间: 2022-11-26 项目概况 电子束曝光系统项目的潜在供应商应在浙江国际招投标有限公司(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼317室)获取采购文件,并于 2022年12月15日09点30分(北京时间)前提交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:ZJ-2263261-06G 2.项目名称:电子束曝光系统 3.预算金额:1400.0000万元(人民币) 4.采购方式:公开招标 5.采购需求: 序号 项目名称 数量 单位 预算金额(万元) 简要技术描述或基本概况介绍 备注 1 电子束曝光系统 1 项 1400.0000 电子束曝光系统采购,详见采购文件。 / 6.合同履行期限:合同签订后18个月内。 7.本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求:无; 三、获取招标文件 时间: 2022年11月25日至 2022年12月2日,每天上午 8:30至 11:30,下午 13:30至 17:00(北京时间,法定节假日除外 ) 地点:浙江国际招投标有限公司(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼317室) 方式:现场报名/或邮件报名 售价:每本人民币500元(售后不退) 购买文件时应提交企业法定代表人授权委托书或单位介绍信(留存)、营业执照复印件、标书发票开票资料、满足投标人资格要求的证书原件扫描件加盖公章、报名表word版(如邮件报名需附上报名费汇款单,单位名称:浙江国际招投标有限公司。开户银行:工商银行杭州市武林支行。账号:1202021209906782015。资料发至466740141@qq.com)。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2022年12月15日09点30分(北京时间) 地点:浙江国际招投标有限公司301开标室(杭州市文三路90号东部软件园1号楼3楼301室) 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的,可以自收到采购文件之日(发售截止日之后收到采购文件的,以发售截止日为准)或者采购文件公告期限届满之日(公告发布后的第7个工作日)起7个工作日内,以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。 2.未经报名登记并获取采购文件的供应商参与本项目投标,将被拒绝。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:浙江大学 地 址:杭州市西湖区余杭塘路866号 联系人:俞老师 联系电话:15005836761 2.采购代理机构信息 名 称:浙江国际招投标有限公司 联系人:谢凯枫 联系电话:0571-89731841 传真:0571-89731841 地址:浙江省杭州市西湖区文三路90号 质疑联系人:王麟; 电话:0571-81061839
  • 大连理工大学1337.00万元采购电子束刻蚀,扫描探针,X光电子能谱
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目公开招标公告 辽宁省-大连市-甘井子区 状态:公告 更新时间: 2022-06-07 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目公开招标公告 项目概况 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目 招标项目的潜在投标人应在大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室获取招标文件,并于2022年06月28日 09点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:DUTASZ-2022066 项目名称:大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目 预算金额:1337.0000000 万元(人民币) 最高限价(如有):1337.0000000 万元(人民币) 采购需求: 各包预算金额及最高限价: A包:X射线光电子能谱仪,预算金额:500万元; B包:电子束曝光系统,预算金额:568万元、原子力显微镜,预算金额:269万元; A包:X射线光电子能谱仪1套,用于材料表面结构分析检测,实现样品表面的元素组成及化学键状态的定性和定量分析; B包:电子束曝光系统1套、原子力显微镜1套 用于材料表面微观结构分析,满足对纳米级光刻加工技术的需求等3套教学与科研用仪器,改善实验室教学与科研条件,完善实验课程内容,提升科研实验水平及能力,具体要求详见招标文件。 本项目“A包:X射线光电子能谱仪,B包:电子束曝光系统、原子力显微镜”可提供进口产品。进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品。 注:A包、B包兼投不兼中,投标人只能成为一个包的中标人(具体内容及要求详见招标文件)。 合同履行期限:A包:自签订合同之日起210日历日内货到采购人指定地点安装调试验收合格;B包:自签订合同之日起210日历日内货到采购人指定地点安装调试验收合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 1)非专门面向中小企业采购项目;2)中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位、节能、环保产品优先采购等 3.本项目的特定资格要求:代理商须具有制造商合法有效授权(国产设备除外)。 三、获取招标文件 时间:2022年06月08日 至 2022年06月14日,每天上午8:00至11:30,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 方式:现场报名或通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名。 售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年06月28日 09点00分(北京时间) 开标时间:2022年06月28日 09点00分(北京时间) 地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座609室。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.获取招标文件时间:2022年6月8日8:00-2022年6月14日17:00(双休日及法定节假日除外)。 2.获取文件方式:现场报名或通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名。 3.获取文件地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室。 4.现场报名:在招标文件发售期内,报名时携带营业执照(或事业单位法人证书)复印件、法定代表人身份证明原件或法人授权委托书原件及被授权人身份证原件,上述证明材料复印件须加盖企业公章,报名后,发售招标文件。 5.通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名:在招标文件发售期内,申请报名和购买招标文件的投标人请将营业执照(或事业单位法人证书)副本复印件、法定代表人身份证明(法定代表人报名提供)或法定代表人授权委托书(授权委托人报名提供,应附法人代表和被授权人的身份证明复印件)、《报名及购买文件登记表》(格式自拟,须含法定代表人或授权委托人的电子邮箱、联系电话、办公电话、包号等)、招标文件费汇款凭证(招标文件费须以公司电汇方式至采购代理人公司银行账户,须备注项目名称及投标人名称)、上述材料加盖公章、扫描后发至电子邮箱710578087@qq.com,经采购代理人确认报名后,发售招标文件。 6.最高限价(如有):1337万元(人民币) A包:X射线光电子能谱仪,预算金额:500万元; B包:电子束曝光系统,预算金额:568万元、原子力显微镜,预算金额:269万元; 7.投标保证金:A包:10万元,B包:16万元,保证金形式及缴纳方式见招标文件。 8.公司名称:大连理工招标代理有限公司; 开户行:农行高新技术产业园支行; 账号:34263001040002404; 行号:103222006805。 注:1.如投标人为“通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名”,招标文件费以实际到账时间为准,报名截止时间后收到的材料及费用不予认可。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称:大连理工大学 地址:大连理工大学采购与招标管理办公室(大连理工大学南门科技园C座)411室 联系方式:李老师;84709969 2.采购代理机构信息 名称:大连理工招标代理有限公司 地 址:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 联系方式:李楠;0411-39700100 3.项目联系方式 项目联系人:李楠 电 话:0411-39700100 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:大连理工大学 地址:大连理工大学采购与招标管理办公室(大连理工大学南门科技园C座)411室 联系方式:李老师;0411-84709969 2.采购代理机构信息 名 称:大连理工招标代理有限公司 地 址:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 联系方式:李楠 0411-39700100 3.项目联系方式 项目联系人:李楠 电 话:0411-39700100 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:电子束刻蚀,扫描探针,X光电子能谱 开标时间:2022-06-28 09:00 预算金额:1337.00万元 采购单位:大连理工大学 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:大连理工招标代理有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目公开招标公告 辽宁省-大连市-甘井子区 状态:公告 更新时间: 2022-06-07 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目公开招标公告 项目概况 大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目 招标项目的潜在投标人应在大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室获取招标文件,并于2022年06月28日 09点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:DUTASZ-2022066 项目名称:大连理工大学X射线光电子能谱仪和电子束曝光系统等采购项目 预算金额:1337.0000000 万元(人民币) 最高限价(如有):1337.0000000 万元(人民币) 采购需求: 各包预算金额及最高限价: A包:X射线光电子能谱仪,预算金额:500万元; B包:电子束曝光系统,预算金额:568万元、原子力显微镜,预算金额:269万元; A包:X射线光电子能谱仪1套,用于材料表面结构分析检测,实现样品表面的元素组成及化学键状态的定性和定量分析; B包:电子束曝光系统1套、原子力显微镜1套 用于材料表面微观结构分析,满足对纳米级光刻加工技术的需求等3套教学与科研用仪器,改善实验室教学与科研条件,完善实验课程内容,提升科研实验水平及能力,具体要求详见招标文件。 本项目“A包:X射线光电子能谱仪,B包:电子束曝光系统、原子力显微镜”可提供进口产品。进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品。 注:A包、B包兼投不兼中,投标人只能成为一个包的中标人(具体内容及要求详见招标文件)。 合同履行期限:A包:自签订合同之日起210日历日内货到采购人指定地点安装调试验收合格;B包:自签订合同之日起210日历日内货到采购人指定地点安装调试验收合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 1)非专门面向中小企业采购项目;2)中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位、节能、环保产品优先采购等 3.本项目的特定资格要求:代理商须具有制造商合法有效授权(国产设备除外)。 三、获取招标文件 时间:2022年06月08日 至 2022年06月14日,每天上午8:00至11:30,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 方式:现场报名或通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名。 售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年06月28日 09点00分(北京时间) 开标时间:2022年06月28日 09点00分(北京时间) 地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座609室。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.获取招标文件时间:2022年6月8日8:00-2022年6月14日17:00(双休日及法定节假日除外)。 2.获取文件方式:现场报名或通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名。 3.获取文件地点:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室。 4.现场报名:在招标文件发售期内,报名时携带营业执照(或事业单位法人证书)复印件、法定代表人身份证明原件或法人授权委托书原件及被授权人身份证原件,上述证明材料复印件须加盖企业公章,报名后,发售招标文件。 5.通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名:在招标文件发售期内,申请报名和购买招标文件的投标人请将营业执照(或事业单位法人证书)副本复印件、法定代表人身份证明(法定代表人报名提供)或法定代表人授权委托书(授权委托人报名提供,应附法人代表和被授权人的身份证明复印件)、《报名及购买文件登记表》(格式自拟,须含法定代表人或授权委托人的电子邮箱、联系电话、办公电话、包号等)、招标文件费汇款凭证(招标文件费须以公司电汇方式至采购代理人公司银行账户,须备注项目名称及投标人名称)、上述材料加盖公章、扫描后发至电子邮箱710578087@qq.com,经采购代理人确认报名后,发售招标文件。 6.最高限价(如有):1337万元(人民币) A包:X射线光电子能谱仪,预算金额:500万元; B包:电子束曝光系统,预算金额:568万元、原子力显微镜,预算金额:269万元; 7.投标保证金:A包:10万元,B包:16万元,保证金形式及缴纳方式见招标文件。 8.公司名称:大连理工招标代理有限公司; 开户行:农行高新技术产业园支行; 账号:34263001040002404; 行号:103222006805。 注:1.如投标人为“通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名”,招标文件费以实际到账时间为准,报名截止时间后收到的材料及费用不予认可。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称:大连理工大学 地址:大连理工大学采购与招标管理办公室(大连理工大学南门科技园C座)411室 联系方式:李老师;84709969 2.采购代理机构信息 名称:大连理工招标代理有限公司 地 址:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 联系方式:李楠;0411-39700100 3.项目联系方式 项目联系人:李楠 电 话:0411-39700100 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:大连理工大学 地址:大连理工大学采购与招标管理办公室(大连理工大学南门科技园C座)411室 联系方式:李老师;0411-84709969 2.采购代理机构信息 名 称:大连理工招标代理有限公司 地 址:大连市甘井子区软件园路80号科技园大厦B座601室 联系方式:李楠 0411-39700100 3.项目联系方式 项目联系人:李楠 电 话: 0411-39700100

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  • 泽攸精密携手松山湖材料实验室成功研制出电子束光刻系统

    [color=#000000]国产电子束光刻机实现自主可控,是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。近日,松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破:项目团队成功研制出[b]电子束光刻系统[/b],在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展,初步实现了电子束光刻机整机的自主可控,标志着[b]国产电子束光刻机研发与产业化迈出关键一步。[/b][/color][color=#000000]电子束光刻是利用聚焦电子束对某些高分子聚合物(电子束光刻胶)进行曝光并通过显影获得图形的过程,而产生聚焦电子束并让聚焦电子束按照设定的图形扫描的仪器就叫做电子束光刻机。它是推动我们当前新材料、前沿物理研究、半导体、微电子、光子、量子研究领域的重要手段之一。此前,全球电子束光刻机市场高度集中,主要由美日企业垄断,我国尚未掌握该领域核心技术,装备长期依赖进口。[/color][color=#000000]松山湖材料实验室精密仪器研发团队作为首批入驻实验室的团队之一,专注于材料和半导体领域的精密加工、表征和测量设备研发。团队负责人许智已从事相关研究近20年,参与承担多项国家重点研发计划专项工作及国家重大科研装备研制项目,近5年带领产业化团队研发的精密仪器成果转化填补多项国产空白,产值超亿元,产品出口美国、英国、德国、澳大利亚。[/color][color=#000000]为了研制具有自主知识产权的电子束光刻机整机,精密仪器研发团队在松山湖材料实验室完成一期项目研发并成立产业化公司后,带资回到实验室进入“滚动发展”模式:产业化公司东莞泽攸精密仪器有限公司与实验室共同投资2400万元进行第二阶段研发,目标是打造集科研与产业化为一体的电子束装备技术创新基地。通过深入开展电子束与新材料交叉领域的前沿技术研发,实现关键装备和共性技术的自主可控,切实提升我国在电子束加工与制备领域的整体创新能力和产业竞争力。[/color][color=#000000]目前,东莞泽攸精密仪器有限公司已基于自主研制的扫描电镜主机,完成电子束光刻机工程样机研制,并开展功能验证工作。通过对测试样片的曝光生产,可以绘制出高分辨率的复杂图形,朝着行业先进水平稳步前进。该成果标志着泽攸科技在电子束光刻机关键技术和整机方面的自主创新能力获得重大提升。下一步,团队及产业化公司将持续完善电子束光刻机的性能指标,使其达到批量应用及产业化的要求。[/color][来源:松山湖材料实验室][align=right][/align]

  • 可同时提供61条电子束的SEM,这样的神器你见过么?

    这两天看到仪器信息网的一篇报道,蔡司将在2014年11月15日-19日,于华盛顿举行的神经系统科学年会上展出ZEISS MultiSEM 505,这是蔡司推出的一款新型扫描电镜,该仪器将会同时产生61条电子束 。  据介绍,传统的扫描电镜采用单电子束,电子束在样品表面被引导着获取一个个像素来形成样本的一组图像。ZEISS MultiSEM同时使用61条电子束,可同时获取61组图像。因此,利用ZEISS MultiSEM 505现在可以快速获取大面积的图像,图像采集时间也从数年减少到只需几周而已。(点击查看全文)  看到这样的描述,让初入行的我看起来真是不明觉厉,不知道各位大侠对这款新产品有何看法?

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    特点:• 用于高灵敏度电子束曝光、混合曝光等• 感光波段:e-beam、deep UV(248 nm)• 紫外曝光波段: 负胶:248nm~265nm & 290nm~330nm • 化学放大胶,高灵敏度• 良好的耐干法刻蚀能力旋涂曲线:应用实例: 欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514
  • 电子束光刻胶 AR-N 7520
    特点:• 用于高分辨电子束曝光、混合曝光等• 感光波段:e-beam、deep UV(248 nm)、i-line(365 nm)• 紫外曝光波段: 负胶:248nm~365nm• 高分辨率(30nm),高对比度 • 良好的耐干法刻蚀能力旋涂曲线:应用实例:欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514
  • 电子束光刻胶 AR-N 7720
    特点:• 用于三维电子束曝光、混合曝光等• 感光波段:e-beam、deep UV(248 nm)• 紫外曝光波段: 负胶:248nm~265nm & 290nm~330nm • 化学放大胶,高灵敏度,低对比度( 1)• 良好的耐干法刻蚀能力旋涂曲线:应用实例:欢迎致电咨询(电话:010-82867920/21/22),更多光刻胶信息请查看官网:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514
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