德国工兵
第3楼2007/12/13
的确是这样,NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的,您可以打开仓门看,上面的准直器和一般的是不一样的,是一种长长的很尖的准直器,里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱,在正常模式下,电子会进入探测器,形成很高的噪音,死时间很大,能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子,当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告:布鲁克的SDD能谱没有这样的问题,如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片,无需切换到EDS模式直接就可以分析,因此电镜的分辨率不受影响。
共工
第4楼2007/12/19
我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱,想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题,任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用,为什么BRUKER的就行呢,不明白。
顺便提一句,个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强,BRUKER的强得多,为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。