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【讨论】抽/放真空时候泵系统声音太大的原因

  • moonbearpipi
    2007/12/13
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 场发射的LEO电镜，现在每次抽真空时泵发出的声音太大了，是什么原因造成的？
    谢谢
相关话题
    +关注 私聊

  • huangtao0307

    第1楼2007/12/14

    可能是漏氣吧﹗

    moonbearpipi 发表:场发射的LEO电镜，现在每次抽真空时泵发出的声音太大了，是什么原因造成的？
    谢谢

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    +关注 私聊

  • 奔跑的蜗牛

    第2楼2007/12/14

    要看下是哪里发出的声音，有时候是滤过器的声音，如果冒烟发热大则漏气的可能比较大，不然的话不见得就是漏气。

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    +关注 私聊

  • moonbearpipi

    第3楼2007/12/17

    没有发热冒烟什么的，可能就是过滤器的问题了

    那要怎么解决呢？

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    +关注 私聊

  • zemb

    第4楼2007/12/19

    把油雾过滤器拆下来试试，如果声音小了，就是它的问题。
    过滤器可以清洗一下，会有效果。

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