黑洞
第9楼2008/02/15
通过非晶碳膜来消物镜像散是做高分辨的一项基本功。而物镜像散的消除通常是放在合轴的最后一步。而前面我们要做是照明系统和成像系统的合轴。
一, 照明系统合轴中的关键步骤就是GUNI TILT的调整, 也就是灯丝像的对中。它是确保我们使用的电子束是从灯丝的尖端发射出来的,也就是我们得到的是最好的相干光源。
二, 照明系统中电压中心的调整是决定物镜像散好坏的关键步骤。
1, 粗调:
1) 在X50K将光斑聚成3~4cm的大小后移到荧光屏的中心。
2) 按下HT WOB按键(当它按下后,将在原有高压基础上又施加了一个波动电压),这时光由于高压的变化会发生扩大和收缩的变化,所以人们也将电压中心称之为扩大中心。如果它是同心收放的,电压中心就很接近了,然后接着做细调。但如果它是前后左右有方向性的晃动话,就需要通过将BRIGHT TILT按亮后通过DEF X/Y将光斑调成原地的同心收缩。
2, 细调:
在X100K将一明锐目标物移到荧光屏的中心,聚焦图像,将光斑散开,按下HT WOB按键,通过目镜观察样品有无方向性的晃动,如有将BRIGHT TILT按亮后通过DEF X/Y将图像调成原地的同心收缩
三, 调节物镜像散:
1, 粗调:可以通过一个小的微栅孔来调节,我们知道,当过焦时出黑边,欠焦时出亮边。如果没有像散的话,在过焦时整个孔内将同时出现均匀的黑边。而有像散时,在某一对称方向将出现黑边,而与其成90度另一对称方向将出现亮边。此时我们通过目镜观察,先调节聚焦钮使孔中所有方向的黑边都消失,然后再顺时针调节细聚焦钮使某一方向的黑边刚刚出现(效果达到逆时针1-2档黑边就又消失),然后按亮OBJ STIG按键,通过DEF X/Y将这个黑边调没。再顺时针调节聚焦钮使黑边再出现,然后通过DEF X/Y使其再消失,如此重复直至当过焦1-2档后孔中的黑边同时出现。
2, 细调:由于物镜像散要在较高倍数下调节,而随着倍数的增加我们很难再从目镜中观察到整个的圆孔了。这时我们就要通过非常薄的非晶边缘来调节。通过DEF X/Y的调节我们要达到这样的效果,当正焦时我们已经无法分出样品的边界了,整个非晶膜完全与无样品的区域融为一体,此时我们通过细聚焦钮过焦或欠焦1-2档,里面的细节会一下涌现出来,那感觉就像质地非常细腻的沙滩,颗粒均匀没有方向性的拉长。如果越不好的话,在正焦时边界会越明显,而且沙滩上的颗粒是拉长的有流动性的感觉。
这种感觉只有你慢慢的体会了。
a65108045
第10楼2011/01/17
写的真好,最近正准备培训电镜呢, 非常感谢