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【求助】请教有关icp气体连锁的问题

hancl206

2008/08/29

这两天用icp，点火的时候出现E2212这个错误，提示等离子体点火失败，气体连锁失败，这个时候气罐上的两个表会同时降为0，过一会两个表上的数字又恢复到原来的值，但是再点火的时候还是这样，有时候是在测定过程中突然出现等离子体熄灭，然后压力表也出现为0的情况，那位高手知道这是怎么回事？

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老难人

第1楼2008/08/29

会不会是流量计坏了?

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hancl206

第2楼2008/08/29

即使是流量计坏了，但是罐子应该还在持续供气啊，按理说等离子体不应该熄火呀
zb_hongyu 发表:会不会是流量计坏了?

0

老难人

第3楼2008/08/29

流量计坏了,那么他就不能提供流量数据,这样流量数据都低于系统设置的安全流量,从而,系统进入自我保护,而熄火.
hancl206 发表:即使是流量计坏了，但是罐子应该还在持续供气啊，按理说等离子体不应该熄火呀

0

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