如果要能应用于EBSD的高标准制样抛光的话,那就是大家的福音了,可能还会成为今后SEM制样设备的标配呢。
forzamarco 发表:发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.