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【讨论】写个探测器的对照表吧

X射线荧光光谱仪(XRF)

  • 同样是Si(Li)晶体的探测器仪器,如何选择?
    主要是看晶体的面积,晶体面积越大,探测效率越高,灵敏度越高,性能越好,价格越贵。目前国际市场的上晶体面积从5mm2 8mm2,10mm2.,15mm2 30mm2……都有
    一般认为15mm2以上的晶体为高灵敏度晶体。
    同时需要注意分辨率指标,一般来说晶体面积越小,分辨率越好。晶体面积越大,分辨率数会越大。当分辨率满足170eV内时,应选择较大的晶体,已获得较好的灵敏度和分析效率。当然晶体面积与价格成正比。

    SDD 晶体与Si(Li) 晶体在技术上有何不同?
    SDD晶体技术是一种新的技术,出现在市场上约6-7年时间。
    国内市场常见到的有晶体面积 5mm2 8mm2,10mm2
    由于该晶体的厚度仅有0.3mm., 因此对高能端的元素探测器效率较低。而对低能端的元素具有较好的探测器效率。因此,该种晶体的探测器适用于11-29号Ka线范围和其它La线元素的分析。目前这种技术仍在完善中。一般常用于扫描电镜能谱仪上使用。在荧光能谱仪上不适合多元素同时分析的工作
    Si(Li) 晶体具有较长时间的生产历史,(20世纪60年开始面试)具有稳定的性能,分析元素范围可达 4号Be -- 92号 U 晶体厚度达3mm以上。可满足高能端元素的分析要求。适合多元素同时分析要求
        Si(Li)晶体    丨 SDD 晶体
    晶体面积 10mm2,15mm2,30mm2 50mm2 丨 5mm2 8mm2,10mm2,30mm2
    晶体厚度    >3mm    丨 0.3mm
    Mn Ka 分辨率    129-155eV    丨 149eV --165eV
    Ka 分析元素范围    < 40 KeV 丨     < 10KeV
    历史    1968    丨 2002











    SDD 与Si Pin 探测器有何区别?
    SiPin 探测器通常用于低端荧光能谱仪或者便携式荧光能谱一种。由于其价格低廉,因此仪器造价较低。 适合单元素或少元素的分析
        SiPin晶体     丨 SDD 晶体
    晶体面积    5mm2 8mm2 10mm2,    丨 5mm2 8mm2,10mm,30mm2
    晶体厚度    >0.3mm 丨     0.3mm
    Mn Ka 分辨率    260eV     149eV --165eV
    Ka 分析元素范围    < 10 KeV    丨 < 10KeV
    历史    2001 丨    2002
    国际市场价格    2000USD-4000USD 丨    12000USD-20000USD
    由于该探测器分辨率较差,因此不能分析相邻的元素,如Ni,Cu, Zn 不能同时分析
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  • 白水山石

    第1楼2009/02/11

    资料不错,但不同探测器的分辨率还与其前端的铍窗厚度有很大的关系;
    现在SDD已经用于TEM上了,并不只在SEM上用。

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  • sartre

    第2楼2009/02/11

    现在都是超薄Be窗了吧
    TEM上用SDD和荧光能谱上用SDD都存在一个问题,由于激发的能力足够高,可以激发出重元素的K线系特征X射线,但是SDD由于晶体过薄,对于超过10kev射线吸收能力很差,得不到好的测试结果。所以一般在TEM和荧光能谱上,还是推荐用Si(Li),这样对于高能的射线捕获更好。
    这个我也贴个图,大家看看,相互交流,学习

    这个图为Si(Li)和Si飘探测器对比图
    一般Si(Li)为厚晶体,高能X射线不容易穿过
    而Si漂移的,由于现在技术上的限制,不能做的很厚,所以高能X射线会穿过。当然如果那天SDD的可以做到足够厚了,这个肯定是比Si(Li)的先进,但是现在没法做的很厚,所以受到限制。

    下图X轴为X射线能量线,Y轴为探测器效率

    tianzhen 发表:资料不错,但不同探测器的分辨率还与其前端的铍窗厚度有很大的关系;
    现在SDD已经用于TEM上了,并不只在SEM上用。

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  • 白水山石

    第3楼2009/02/12

    现在SDD用于TEM和EDX都有成熟的产品了,但用于TEM据我所知只有一家,用于XRF有好几家,但从目前来说名有优势,锂漂移和硅漂移各有优势,但后者用于TEM上听说也能到115EV了,但我没用过.

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  • atlas

    第4楼2009/02/12

    资料不错,刚好要选择不同分辨率的X光仪,不过是用于测镀层厚度的,配SDD与配PIN的价格差不少!

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  • sartre

    第6楼2009/02/12

    现在是很多家的EDS和XRF都用SDD了,但是存在问题
    你看这个图,在10kev后,SDD损失了很多的特征X射线。
    但是Si(Li)损失的少,在32kev后,还有60%的效率。
    你说的115ev是什么意思?

    tianzhen 发表:现在SDD用于TEM和EDX都有成熟的产品了,但用于TEM据我所知只有一家,用于XRF有好几家,但从目前来说名有优势,锂漂移和硅漂移各有优势,但后者用于TEM上听说也能到115EV了,但我没用过.

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  • sartre

    第7楼2009/02/12

    PIN的只用在低端上,价格确实便宜
    但是分辨率260ev
    测厚仪,PIN的能测多厚?几层?
    Si(Li)的能测几十nm,测六层。。。

    atlas 发表:资料不错,刚好要选择不同分辨率的X光仪,不过是用于测镀层厚度的,配SDD与配PIN的价格差不少!

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  • sartre

    第8楼2009/02/12

    我这个不是选择不同分辨率
    而是选择了不同探测器晶体,当然,这样分辨率也会不一样
    主要为了告诉大家,在10keV后,SDD会损失很多特征X射线

    atlas 发表:资料不错,刚好要选择不同分辨率的X光仪,不过是用于测镀层厚度的,配SDD与配PIN的价格差不少!

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  • sartre

    第9楼2009/02/12

    呵呵
    需要啥资料,可以和我站内联系,手头有点儿资料,但是不多。
    有些能贴论坛上我就贴,有些是一些厂家的资料,不给他们做免费广告,我就不贴了

    looaoo 发表:不错,正找那

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  • 白水山石

    第10楼2009/02/13

    115ev指能量分辨率.谢谢

    sartre 发表:现在是很多家的EDS和XRF都用SDD了,但是存在问题
    你看这个图,在10kev后,SDD损失了很多的特征X射线。
    但是Si(Li)损失的少,在32kev后,还有60%的效率。
    你说的115ev是什么意思?

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