【原创】请问“电子束曝光机”是指电子显微镜吗？

不是。估计类似半导体行业的光刻机？

您说的对，这是属于扫描电镜的专项应用，电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈，就像一架可以控制曝光时间，快门速度和光圈大小的电子束成像系统。
多用于半导体行业的光刻。

可以加装附件后 借鸡下蛋。。。。

学习了^-^

中科院电工所有自己研制的实验级电子束曝光机，我现在代理该产品，如有需要和我联系，13552760111杨凯。

这个需要电镜硬件的支持！

没有产业化的任何高技术都是空中楼阁
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中国的大规模集成电路装备基本都是进口二手的，国内还能发展吗？
国内科研院所购买电子束曝光机也只能停留在实验室小打小闹一番，有些科研人员也如此自嘲。

工业级别的电子束曝光机JEOL做的最好，电压是百KV以上的，穿透力高，曝光速度快，线宽小，效果是基于SEM改装的EBL所达不到的

非常赞同，国内高校实验室大部分采用的还是利用SEM改装的电子束曝光机。