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EDS分析疑问

hongdesky

2017/02/10

扫描电镜（SEM/EDS）

各位请教下，在10KV做EDS发现有Cr和Mn的谱峰，但结果显示两种元素含量都为0，怀疑是重峰于是删掉其中一个，但另外一个含量依然为0。改用12KV再次分析同一个点，这次Cr和Mn各自都有含量，这是为什么呢？谢谢！

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fengyonghe

第1楼2017/02/15

你设置的是用k系计算，阈值设置的也高，这样对比较小的峰系统会忽略不计。高压的设置应该是临界激发电压的2-3倍，以15-20kv为好

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hongdesky

第2楼2017/02/16

谢谢冯老师！因为这些异物在表面，我们不想用较高电压怕打的太深会激发到表面其他物质元素，因此经常我们只会用到10kv或5kv
fengyonghe(fengyonghe)发表:你设置的是用k系计算，阈值设置的也高，这样对比较小的峰系统会忽略不计。高压的设置应该是临界激发电压的2-3倍，以15-20kv为好

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fengyonghe

第3楼2017/02/17

你可将阈值设置为1，或用L线系计算

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扫描电镜分析

第4楼2017/02/17

要看异物有多大尺寸了，如果超过几个微米大小，直接上15kV测了。

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hongdesky

第5楼2017/02/18

感谢！
fengyonghe(fengyonghe)发表:你可将阈值设置为1，或用L线系计算

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hongdesky

第6楼2017/02/18

有时候判定不了异物的厚度
扫描电镜分析(dongfanghaoxia)发表:要看异物有多大尺寸了，如果超过几个微米大小，直接上15kV测了。

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毒菇九剑

第7楼2017/03/17

建议l用ow kV做Mapping
hongdesky(hongdesky) 发表:谢谢冯老师！因为这些异物在表面，我们不想用较高电压怕打的太深会激发到表面其他物质元素，因此经常我们只会用到10kv或5kv

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fengyonghe

第8楼2017/03/18

“ 建议l用ow kV做Mapping”是啥意思？
毒菇九剑(sshlxf) 发表: 建议l用ow kV做Mapping

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bybls_74

第9楼2017/03/28

12KV的电压低了吧，Mn和Cr都是重金属元素，我用15kv有时候Mn都激发不出来，只有上到20Kv才有Mn的信号。

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fengyonghe

第10楼2017/03/29

看来你的能谱需要检修了。最好的激发电压是临界激发电压的两倍左右
bybls_74(bybls_74) 发表:12KV的电压低了吧，Mn和Cr都是重金属元素，我用15kv有时候Mn都激发不出来，只有上到20Kv才有Mn的信号。

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