扫描电镜(SEM/EDS)
蓝莓口香糖
第1楼2009/02/25
不是。估计类似半导体行业的光刻机?
共工
第2楼2009/02/26
您说的对,这是属于扫描电镜的专项应用,电子镜筒中嵌入了工业级别的高频偏转线圈,就像一架可以控制曝光时间,快门速度和光圈大小的电子束成像系统。多用于半导体行业的光刻。
schokolade38
第3楼2009/03/02
可以加装附件后 借鸡下蛋。。。。
annelugel
第4楼2009/03/05
学习了^-^
s30kaiyang
第5楼2009/04/17
中科院电工所有自己研制的实验级电子束曝光机,我现在代理该产品,如有需要和我联系,13552760111杨凯。
bairen828
第6楼2009/04/18
这个需要电镜硬件的支持!
驰奔
第7楼2009/05/23
没有产业化的任何高技术都是空中楼阁-中国的大规模集成电路装备基本都是进口二手的,国内还能发展吗?国内科研院所购买电子束曝光机也只能停留在实验室小打小闹一番,有些科研人员也如此自嘲。
wildonkey
第8楼2009/05/23
工业级别的电子束曝光机JEOL做的最好,电压是百KV以上的,穿透力高,曝光速度快,线宽小,效果是基于SEM改装的EBL所达不到的
thb2520
第9楼2009/06/05
非常赞同,国内高校实验室大部分采用的还是利用SEM改装的电子束曝光机。
六脉神剑
第10楼2009/06/08
看来大家还是有人知道EBL的,中国的科研还是有希望的
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