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【求助】STM/AFM系统无法粗进针

ehwalee

2009/05/06

扫描探针显微镜SPM/AFM

昨天做实验的时候碰到一个很大的问题。实验结束时，按照正常步骤退针，将其退到最小位置。重新开始试验时发现不能进针了（Z方向上的粗进针）。经过我的检查发现XY方向的运动没有问题。老板看过之后说有可能是退针到最小位置后对Piezo仍加有较大电压导致Piezo可能受到损坏。
大家在做实验的过程中有碰到过这类问题么？
请指点一二！！！先行谢过了！
另外，大家知道SPM QQ交流群的群号么？我想申请加入。谢谢。

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mse2008

第1楼2009/05/06

没有遇到过这样的问题，不太清楚。
QQ群号： 36954410

ehwalee 发表:昨天做实验的时候碰到一个很大的问题。实验结束时，按照正常步骤退针，将其退到最小位置。重新开始试验时发现不能进针了（Z方向上的粗进针）。经过我的检查发现XY方向的运动没有问题。老板看过之后说有可能是退针到最小位置后对Piezo仍加有较大电压导致Piezo可能受到损坏。
大家在做实验的过程中有碰到过这类问题么？
请指点一二！！！先行谢过了！
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清风侠

第2楼2009/05/06

Z方向有无马达控制？！
ehwalee 发表:昨天做实验的时候碰到一个很大的问题。实验结束时，按照正常步骤退针，将其退到最小位置。重新开始试验时发现不能进针了（Z方向上的粗进针）。经过我的检查发现XY方向的运动没有问题。老板看过之后说有可能是退针到最小位置后对Piezo仍加有较大电压导致Piezo可能受到损坏。
大家在做实验的过程中有碰到过这类问题么？
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ehwalee

第3楼2009/05/06

有，是通过一个叫Remote Box的控制器控制Scanner在三个方向上运动的。现在Remote Box上的Approach键（表示粗进针，Retract表示退针）按下去之后Z方向没有运动反应。Piezo也没有反应，正常来讲用Remote Box控制的时候至少能听到Piezo会有声音。但是这样按下去之后没有反应。利用Remote Box能够正常控制X/Y方向的运动。

现在的判断是：有可能是控制器Remote Box出了问题。
我想请教的是，如果不是Remote Box的问题，可能是哪里的问题。

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Insm_925e9a6e

第4楼2019/11/19

我感觉我俩遇到的很类似，我的是不能进针，手动看清表面的时候就有提示说scanner crashed保护往上抬100um，之后检测说x sensor出问题了。

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