仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
当前位置： 仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

【求助】膜层的测试

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 基片上有基层膜，纳米级的，有的是溅镀，有的是旋涂上的，不过好像中间有的膜被穿透了，请问有什么仪器可以测试是哪层被破坏了吗？
相关话题
    +关注 私聊

  • 78668662

    第1楼2009/07/02

    SEM、TEM可以吗？

0
    +关注 私聊

  • azuoin

    第2楼2014/04/03

    不知道你这个膜穿透区域直径有多少？ 如果直径在微米级以上，可以通过成像椭偏仪来检测，它能测量绘制多层薄膜的三维图形。

    虽然时间有些长了，但是还想答复一下，希望能给关注这个问题的朋友一个参考解决办法。

    78668662(78668662) 发表:基片上有基层膜，纳米级的，有的是溅镀，有的是旋涂上的，不过好像中间有的膜被穿透了，请问有什么仪器可以测试是哪层被破坏了吗？

0
    +关注 私聊

  • cvbs11

    第3楼2014/04/07

    最好使用FIB+TEM或者SEM来确认，单纯测量膜的厚度，可以用XRR测量

0
近期热榜
热门活动
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

岛津
岛津
日立科学仪器
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
日本电子株式会社
丹纳赫
丹纳赫
安捷伦
安捷伦
赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技
普析通用
普析通用
欧波同
欧波同
天美
天美
天瑞仪器
天瑞仪器
德国耶拿
德国耶拿
海能技术
海能技术
马尔文帕纳科
马尔文帕纳科
磐诺科技
磐诺科技
上海仪电科仪
上海仪电科仪
梅特勒托利多
梅特勒托利多
聚光科技
聚光科技
莱伯泰科
莱伯泰科
盛瀚
盛瀚
多宁生物
多宁生物
丹东百特
丹东百特
科哲
科哲
卓立汉光
卓立汉光
屹尧科技
屹尧科技
华谱科仪
华谱科仪
宝德仪器
宝德仪器
优莱博
优莱博
HORIBA
HORIBA
布鲁克核磁
布鲁克核磁
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...