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【求助】2100F的束流问题

liveorevil

2009/07/28

透射电镜（TEM）

上周五到周日俺们这里的JEM-2100F在100KV下运行了几天，周一上午过来做了个condition然后升场回到200kv 结果Emission值原来在126~127附近的慢慢升到145左右看了看A1 A2 Bias Filament的数值都和原来差不多啊怎么回事呢？

大侠们给看看这是为啥呢~~谢谢

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天黑请闭眼

第1楼2009/07/28

感觉是电子枪周围放电了。

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liveorevil

第2楼2009/07/28

数值持续缓慢上升...两个能看到的抽电子枪的离子泵真空度也都很正常~或者应该检查一下SF6的压力？

谢老师有啥好办法没给说说呗~
shxie 发表:感觉是电子枪周围放电了。

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tygk98

第3楼2009/07/28

烘烤一下试一试。

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liveorevil

第4楼2009/07/28

可以试试嗯~

但是觉得在没有开gate valve的情况下镜筒似乎对枪影响很小呢...

谢谢：）
tygk98 发表:烘烤一下试一试。

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天黑请闭眼

第5楼2009/07/28

我们的是2010，和你的虽然相近，但还是有不少差距，SF6的压力现在多少呢？
liveorevil 发表:数值持续缓慢上升...两个能看到的抽电子枪的离子泵真空度也都很正常~或者应该检查一下SF6的压力？

谢老师有啥好办法没给说说呗~

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liveorevil

第6楼2009/07/28

高压箱0.112MPa 电子枪0.319MPa 和前段时间正常时的值一样啊...

困惑~~
shxie 发表:我们的是2010，和你的虽然相近，但还是有不少差距，SF6的压力现在多少呢？

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天黑请闭眼

第7楼2009/07/29

那就奇怪了，要不烘烤一下？
liveorevil 发表:高压箱0.112MPa 电子枪0.319MPa 和前段时间正常时的值一样啊...

困惑~~

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yt_zhang

第8楼2009/07/30

好像有点低啊，我们是2100，工程师说高压箱要求0.14，我们现在都0.2了，应该是放电的问题，充点SF6，继续做condition应该是放电了
liveorevil 发表:高压箱0.112MPa 电子枪0.319MPa 和前段时间正常时的值一样啊...

困惑~~

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liveorevil

第9楼2009/08/04

应该不是这个问题原来就是这个数值几乎没变过啊~

2100和2100F的高压箱差别好像挺大的起码外观上就显著不同啊=.=!!

我们2100高压箱SF6的压力没有超过过0.15 有一段时间比较高工程师还放掉了一些气体
yt_zhang 发表:好像有点低啊，我们是2100，工程师说高压箱要求0.14，我们现在都0.2了，应该是放电的问题，充点SF6，继续做condition应该是放电了

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