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请问如何区别BSE像与SE像?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如题,请指教一二。
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  • 第1楼2005/08/09

    建议参考一下置顶贴:ANASPEC每周一问2
    欢迎常来交流

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  • 第2楼2005/08/09

    看了,多谢!

    但还是觉得没有直接得到确切的答案。对于BSE与SE成的同一形貌像,我只能凭直觉区分,却不知看到的现象与它们的本质有何必然的联系。

    走过路过的大侠们,望赐教。


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  • 第3楼2005/08/09

    如果成份上没有特别明显的界限,或者没有原子序数的明显差异,BSE和SE还是很难区分。而且BSE的分辨率要比SE的低,高倍率(钨灯丝用10000倍就可以)观察得到两个像,从清晰度上就应该就很容易区分了,呵呵。
    不过这是自己的浅见,问问renxin大侠有什么妙招吧

    heureux 发表: 看了,多谢!
    但还是觉得没有直接得到确切的答案。对于BSE与SE成的同一形貌像,我只能凭直觉区分,却不知看到的现象与它们的本质有何必然的联系。
    走过路过的大侠们,望赐教。
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  • 第4楼2005/08/09

    是否可以这样认为:在较高的倍数(如*10000以上),SE像由于分辨率高而显得更为清晰,可分辨出一些细节,而BSE像则在细节上较模糊。

    那在较低倍数的情况下呢?

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  • 第5楼2005/08/09

    惭愧,我给你讲的都是我平时的经验而已,上升到理论高度的东西要请renxin大侠出马了,呵呵。
    低倍数的就要看是不是有明显的对比度,刚才也讲了,BSE图像和原子序数有关,越大就信号越强,如果你的样品是一个比较均匀的样品,BSE和SE没有什么大的差别的。
    还有,前面我提到的那个帖子里面讲到一般的SE探头里面就含有BSE信号,如果样品的信号反差不大,那么低倍率下是无法很好的区分图像的。如果你的仪器是LEO的电镜或其他新型能分别探测BSE信号和SE信号的,应该会好些。但我没有做过这类仪器,不敢说一定有特明显的区别。
    推荐你读一篇文章:二次电子像质量,电子显微学报上的,22(6):653~654 2003年

    heureux 发表:是否可以这样认为:在较高的倍数(如*10000以上),SE像由于分辨率高而显得更为清晰,可分辨出一些细节,而BSE像则在细节上较模糊。

    那在较低倍数的情况下呢?

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  • 第6楼2005/08/10

    很好解决哟, 所有的ET检测器, 就是所谓的 SE检测器, 都有调节偏压的功能, 偏压为负的时候,看到的 大多数是 BSE, 将 样本台向 SE检测器反方向倾斜大于15度, 看到的大多数是SE。

    heureux 发表: 看了,多谢!

    但还是觉得没有直接得到确切的答案。对于BSE与SE成的同一形貌像,我只能凭直觉区分,却不知看到的现象与它们的本质有何必然的联系。

    走过路过的大侠们,望赐教。


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  • 第7楼2005/08/11

    偏压为负?我怎么没有发现过啊?

    renxin 发表:很好解决哟, 所有的ET检测器, 就是所谓的 SE检测器, 都有调节偏压的功能, 偏压为负的时候,看到的 大多数是 BSE, 将 样本台向 SE检测器反方向倾斜大于15度, 看到的大多数是SE。

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  • 第8楼2005/08/11

    通过偏压来得到SE或BSE像,这我知道。但若只是手里有SE和BSE像各一张(同一sample),如何推断哪个是SE或BSE像呢?或者可以这样问,分别用SE和BSE得到的像有什么不同?通过“SE像分辨率高”还是通过“SE的edge effect”来判断?

    请renxin大侠解惑。

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  • 第10楼2005/08/11

    二次电子对形貌敏感,反映的是样品的表面形貌,立体感强,
    背散射电子衬度主要反应样品表面原子序数的差异,如果样品是一平整样品,则在SE像上无衬度差异,但如果存在非均匀相,则在BSE像上能有明显的相区,

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  • 第11楼2005/08/12

    FEI(PHILLIPS)也应该有这个基本功能呀

    shxie 发表:偏压为负?我怎么没有发现过啊?

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