扫描电镜(SEM/EDS)
fengyonghe
第1楼2009/08/26
修电镜不大会影响到能谱1) 首先你应该测量能谱分辨率,看其分辨率与标称值有多大区别2) 对能谱仪进行全校正3) 在测样品之前最优化一次4) 时间常数(处理时间)选32微妙或40微妙,这个对分辨率影响比较大。
haishangpiao09
第2楼2009/08/26
问题是我们没有测分辨率的Mn标,上次我只是用Cu和Al分别看了一下它们的峰的偏移,发现偏移了0.1.上次厂家工程师来的时候测了一下分辨率发现降了一些,原来是127现在126了,但我没想到影响会这么大,当时也就没在意了。
第3楼2009/08/26
126比127好,这个数字越小越好,126是很好的。看来你的问题不在分辨率。还是运行校正程序吧。
alexzhtang
第4楼2009/08/26
能谱用了一段时间后发现有点漂移就应该进行全校正一下,并不是一定要用Mn的标样。用一个纯元素的标样就可以了,我们进行校正就是用的纯Co的标样。
第5楼2009/08/27
除了用Co标样校正之外,还要按能谱工作时使用的加速电压,选取相应的标样进行最优化。常用标样:Si 5KV, Ti 10KV, Co 20KV 大部分测试工作用20KV所以用Co标样。
第6楼2009/08/28
分辨率怎么会越来越好呢,我们的电镜上次维修时,能谱探头侧壁冒油了,上次把探头侧壁的油檫掉了,估计是这原因导致能谱探测分辨性能下降了
第7楼2009/08/28
能谱分辨率的验收标准是优于133ev ,新能谱分辨率大多在129ev ,这个数字越小越好。你怀疑分辨率下降了,只有拿分辨率的数据说话。我和alexzhtang 都希望你做一下校正程序,再看结果如何。Co标样也没有吗?再有,分辨率对时间常数(处理时间)是敏感的,我不知道你说的分辨率下降了,是否和这个设置有关系。
第8楼2009/08/29
我上次记错了,我们的Mn分辨率原来是132,现在是136了,确实如你们所说的越小越好,我们只有纯铜,再请问下你校正程序是在标准样品作成的那个工具里校正吗?我们仪器是去年买的,我之前都没作过校正,呵呵,很感谢你的帮助!
第9楼2009/08/29
我上次记错了,我们的Mn分辨率原来是132,现在是136了,确实如你们所说的越小越好,我们只有纯铜,再请问下你校正程序是在标准样品作成的那个工具里校正吗?我们仪器是去年买的,我之前都没作过校正。。。。。。分辨率136,确实变差了。只有校正才能将其恢复。这需要Co、Ni、或Cu作标样。不知道你的是哪家的能谱。我只知道牛津能谱的。或者你联系厂家。
第10楼2009/09/01
我们的能谱是日本电子的
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