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【求助】请教Mo,Y痕量测定的方法

ICP-MS

  • 最近要测量硅片中的Mo和Y的含量,具体的量级还不知道,估计在ppb甚至有可能在ppt量级。我们测金属痕量的时候,一直用的标准加入法,现在已经去购买标样了。由于是第一次测量这两种金属,更因为接触ICP-MS才1个月,因此没有以前的数据可以做对比,怕测出来的数据不准确,有大的干扰因素在里面,所以想请教下各位前辈,给予指点。不管是制样还是测试过程,都请不吝赐教,尤其是哪些方面需要特别注意的,不胜感谢
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  • midibb

    第1楼2009/09/07

    没有测过的啊,晕了

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  • lilongfei14

    第2楼2009/09/07

    怕测出来的数据不准确----这个得靠标准样品来决定。所以不要担心。首先得自信~不然准确的数据你都会认为不准确~

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  • nps

    第3楼2009/09/07

    第一次见到有关心硅片中Mo和Y含量的,这两种杂质对硅片的质量影响明显么?

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  • midibb

    第4楼2009/09/08

    不知道啊,是客户指定要求的,我们自己也不测的

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  • 光哥

    第5楼2009/09/14

    应助工程师

    问题就是:没标样(这种ppb、ppt浓度的标样),咋办咧??

    lilongfei14 发表:怕测出来的数据不准确----这个得靠标准样品来决定。所以不要担心。首先得自信~不然准确的数据你都会认为不准确~

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  • midibb

    第6楼2009/09/15

    呵呵,标样由客户提供,测出来的数据还算可以,2个片子除了Zn之外,其它元素都没有大的变化,客户还是认可数据的可靠性的

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  • panhuanhuan

    第7楼2009/09/15

    测Mo还有听说过,不过测Y真是头回听说,不过楼主不错,只要平行性好就OK了。

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  • popo

    第8楼2009/09/15

    你都测了其他元素了,这两个元素怕什么

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