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【讨论】谁有SiCl4中痕量杂质(含量在ppt-ppb级)钙、磷、铁、钛、铝、硼分析方法?主要是前处理方法

ICP-MS

  • 有这方面经验的大侠多支持啊!
    先说一下我自己的做法:先水解后加氢氟酸除去硅。用移液管准确取样2毫升放入盛有约50毫升水的聚四氟乙烯烧杯中水解(水解反应很剧烈啊),生成凝胶状二氧化硅,放出氯化氢气体,然后在电热板上加热除去过多的水份后,少量多次缓慢加入氢氟酸来溶解除去硅基质,溶解完全后继续蒸发氢氟酸近干,然后用塑料试管定容25毫升在ICP-MS上测定。
    不知道我这样做前处理行不行,看到一个标准方法是用石墨挥发器来挥发基体做的,但我们没有那种装置。
    平行测定结果的重现性不是太好,空白也比较高。我选择了多种同位素,如铁54、57,工作曲线线性都很好,同一个样品测定结果却相差很多(20-40ppb),铁58在有校正方程时工作曲线为负值区域成线性(测定结果自然也是负值,不过绝对值比前两个同位素测定的小一个数量级),删除校正方程后线性也很好,在正值区,但测定值依然很小。挺苦恼的,望大家多指教啊!
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  • tcduan

    第2楼2008/06/24

    也许借助微波辅助密闭挥发可以实现

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  • 喜欢干活的傻人

    第3楼2008/06/25

    1.尽量选空白低的氢氟酸
    2.尽量减少氢氟酸用量
    3.加几滴高氯酸赶剩余的F

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  • kiwi-kids

    第4楼2008/06/25

    Fe54有Cr的干扰

    如果使用了Cr Fe混标做线性,一般结果比Fe57低
    如果采用Fe单标做线性,但样品你中含有Cr,结果比Fe57高

    你应该采用碰撞反应池或者冷焰技术解决Ca Fe的分析

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  • zhangzhoumin

    第5楼2008/06/25

    你是多晶硅生产厂家?我是多晶硅生产厂家,以后多联系

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  • 小飞霞

    第6楼2008/06/25

    我们不是生产多晶硅的,只是给客户作检测遇到这样的样品。你也在做这方面的工作吗?可以互相探讨学习一下。我的QQ:22876496

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  • 小飞霞

    第7楼2008/06/25

    我用的是混标,铁54做出来结果确实比铁57低,但我觉有校正方程扣除铬54的干扰啊,要是样品中不含铬,自然不会被扣除的,得出来结果也应该是对的呀,不知为何会偏低。用单标也应该一样道理的(校正方程要用上)
    动态反应池也试了一下,两种同位素结果相比有的偏高有的偏低(线性及灵敏度都没有标准模式下好,不过还可以),顺便问一下,用了反应气后灵敏度是不是都会下降啊?
    仔细研究实验数据后,还有一点发现,理论上同位素的强度比应该与丰度比一致的,我计算后却发现有的数据差距很大。如果样品中某元素含量不大(强度比空白高出1-2个数量级)而两种同位素在空白和样品中的强度比又相差较大,样品强度减空白强度之后两者可能相差更大,这样即使工作曲线都很好,浓度读数却会相差很大。我想是这个原因造成了选取不同同位素,测定结果偏差大。不知道大家有没有注意这个情况,也不知道我说的对不对。再仔细想一下,同位素的强度比与丰度比不一致应该是多原子离子干扰的原因吧,只有高分辨质谱才能做的准确。是不是就因该以受干扰小的同位素(仪器自动选的那个)测定值为准呢?但那天仪器公司的人说应该以小的值为准(因为干扰一般为正干扰,值小就是受的干扰小),到底应该是怎样呢?

    zhengxxx 发表:Fe54有Cr的干扰

    如果使用了Cr Fe混标做线性,一般结果比Fe57低
    如果采用Fe单标做线性,但样品你中含有Cr,结果比Fe57高

    你应该采用碰撞反应池或者冷焰技术解决Ca Fe的分析

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  • 小飞霞

    第8楼2008/06/25

    氢氟酸用来容解二氧化硅,少了溶不完全,你说少用主要目的是降低空白吧?还想请教一下,各种酸是按照沸点高低逐一蒸出的吗?加高氯酸后是不是氢氟酸就蒸发的快了?如果不是,直接把氢氟酸蒸干行不行(这样试剂用的更少,空白更低)?

    liuqingxue 发表:1.尽量选空白低的氢氟酸
    2.尽量减少氢氟酸用量
    3.加几滴高氯酸赶剩余的F

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  • 结网

    第9楼2008/06/25

    我们先加甘露醇,然后加样,在电热板上用氦气挥发,之后再用氢氟酸熏蒸。最后硝酸定容。效果很不错

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  • 小飞霞

    第10楼2008/06/26

    能不那把具体做法说一下?测的元素种类及含量跟我说的一样吗?谢谢!不甚感激!

    elizabeth1 发表:我们先加甘露醇,然后加样,在电热板上用氦气挥发,之后再用氢氟酸熏蒸。最后硝酸定容。效果很不错

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