仪器信息网APP

选仪器、听讲座、看资讯

立即体验

当前位置：仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

莫名其妙掉真空，幸好只是虚惊一场（帖子太后面了，标题要再长一点点）

小M

2012/04/18

扫描电镜（SEM/EDS）

某日中午，正常测样，在移动样品的过程中，突然高压自己切断，仪器发出高压切断的声音——虽然平时经常听，可是突然发出这样的声音，很吓人和迷惑啊！——同时弹出提示"Column pressure too high”，缩小到四分之一窗口，竟然发现Chamber Pressure的值变成了- Pa（-表示值很大，常压就显示-）

正在疑惑之际，Chamber Pressure的值又突变成了X.X*10^-2 Pa（X表示某，具体值不记得了），然后慢慢降到了10^-3 Pa数量级，可以开高压。此后再无异常……

如果真的是Column或者Gun的那部分真空出问题了，那真是玩完了，停工吧，休息吧！

相关话题

zhw19811005

第1楼2012/04/19

压力一下就升高了？

0

社区=冬季=

第2楼2012/04/19

会不会是受电压的影响呢

0

zhangjiancn

第3楼2012/04/19

有可能是外电网剧烈波动造成的，连稳压电源都抗不住了。

0

社区=冬季=

第4楼2012/04/19

样品潮湿吧~~~

0

小M

第5楼2012/04/19

应助达人

突然升高，又突然降低
zhw19811005(zhw19811005) 发表:压力一下就升高了？

0

小M

第6楼2012/04/19

应助达人

这个有可能哦，还有可能是分子泵间歇性罢工？
zhangjiancn(zhangjiancn) 发表:有可能是外电网剧烈波动造成的，连稳压电源都抗不住了。

0

小M

第7楼2012/04/19

应助达人

样品是干的，合金，不过用树脂镶样了
冬季(lylsg555) 发表:样品潮湿吧~~~

0

linzq

第9楼2012/04/20

树脂会不会某些部位含有大量挥发物。你的现象就是样品仓真空变差，这有两个原因漏气还有就是样品里面挥发物较多，后来能抽上去说明不太可能是漏气，那就是样品挥发物较多，当你样品移动到含有大量挥发物的部位时，这些挥发物让电子束瞬间大量激发出来破坏了真空。
linzq(linzq) 发表:样品是干的，合金，不过用树脂镶样了

0

yoyo

第10楼2012/04/20

我们的最近也偶有掉高压的情况，不过真空好象都是正常的，最起码等我查看真空值的时候是正常的，再开高压可以继续看，所以我也一直没深究原因。

0

小M

第11楼2012/04/20

应助达人

这个可能性更大，树脂挥发（被电子束打过是挥发么？）很影响真空，所以我移动时的路径尽量选择有样品处、导电胶等位置
linzq(linzq) 发表:树脂会不会某些部位含有大量挥发物。你的现象就是样品仓真空变差，这有两个原因漏气还有就是样品里面挥发物较多，后来能抽上去说明不太可能是漏气，那就是样品挥发物较多，当你样品移动到含有大量挥发物的部位时，这些挥发物让电子束瞬间大量激发出来破坏了真空。

0

查看更多

近期热榜

热门活动

猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

日立科学仪器

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

日本电子株式会社

赛默飞世尔科技

马尔文帕纳科

上海仪电科仪

梅特勒托利多

布鲁克核磁

举报帖子

点赞用户

好友列表

加载中...

正在为您切换请稍后...