syning90
第6楼2010/01/15
扫描电子显微镜是20世纪60年代发展起来的现代微观研究工具,主要是利用各种电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征x射线、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。扫描电子显微镜即通过这些信号,利用不同的探测手段来分析样品的形貌以及组成,使用范围非常广泛。
电子显微镜发展历史
* 1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。
1897 J.J. Thmson 发现电子
1924 Louis de Broglie ( 1929 年诺贝尔物理奖得主) 提出电子本身具有波动的物理特性, 进一步提供电子显微镜的理论基础。
* 1926 Busch 发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折一般, 由电磁场的改变而偏折。
1931 德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。
1937 首部商业原型机制造成功( Metropolitan Vickers 牌) 。
* 1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。
1938∼39 穿透式电子显微镜正式上市( 西门子公司, 50KV~100KV, 解像力20~30Å) 。
1940∼41 RCA 公司推出美国第一部穿透式电子显微镜(解像力50 nm) 。
*1941∼63 解像力提升至2~3 Å ( 穿透式) 及100Å ( 扫描式)
1960 Everhart and Thornley 发明二次电子侦测器。
1965 第一部商用SEM出现(Cambridge)
1966 JEOL 发表第一部商用SEM(JSM-1)