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【讨论】用SEM的内置标尺 来测长,误差有多大?

  • firesoul119
    2010/01/25
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问用SEM的标尺来测量长度(um),误差范围是多少?
    目前我觉得以下可能存在误差,请大家看看何不合适:
    1.普通的测长显微镜利用镜头的固定焦距,在固定倍率下进行校准来测量长度;由于景深小,测量时误差相对较小;
    由于SEM的大景深,对焦在一定的高度范围内都满足,这时 测量长度是否就会因选择的高度不同而产生误差呢?
    2.JEOL的标尺是在一定的WD下校准的(10或20),那么其他的WD下进行测长,是否误差会较大?
    不同的WD下,设备内会有计算和修正来减少误差么?
    还有,我用的SEM的WD没有显示小数位(可能是4舍5入的),难以精确的设定在10或20初,如此是否也会导致测量误差呢?
    3.样品本身不平整或倾斜,或在不同焦距面上取两点测量,是否也是误差的来源?
    4.是否还有其他的误差呢?

    如此,误差范围在不同情况下有多大呢?有没有同行用标样测试过啊?多谢了!
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  • fengyonghe

    第1楼2010/01/27

    关于这些问题应该按照国标进行检测。

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  • fairman

    第3楼2010/02/10

    有个国家标准,进行校准方面的。
    我认为来源主要是厂家内标的准确度,这个目前大部分用户只能被动接受。

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  • salford

    第4楼2010/02/24

    在你测量样品的工作条件下,用标准样品或光栅对放大倍率进行标定。

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  • 面对面想你

    第5楼2010/02/24

    我们也拿这个来测试筛网的尺寸,好像误差还蛮大的,不知道是不是方法不当。

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  • ylyh

    第6楼2010/02/25

    同意。
    我对比了一下日本电子的和Zeiss的照片,放大倍数差一倍,比如日本电子电镜标1000倍的时候,相同条件Zeiss的电镜标2000倍。看了一下Zeiss电镜的最高放大倍数是1百万倍,估计日本电子的准确性更高一些。

    fairman(fairman_xiao) 发表:有个国家标准,进行校准方面的。
    我认为来源主要是厂家内标的准确度,这个目前大部分用户只能被动接受。

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  • heihei727

    第7楼2010/02/26

    有理
    可以用经过权威验证的网格来测试是否有误差

    fairman(fairman_xiao) 发表:有个国家标准,进行校准方面的。
    我认为来源主要是厂家内标的准确度,这个目前大部分用户只能被动接受。

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  • guanjun19860820

    第8楼2010/02/27

    相对误差10%之内吧,要经常校正的,绝对误差跟你放大倍数有关!

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  • chenyh-0302

    第9楼2010/03/03

    本人认为,在样品不倾斜情况下,测量值可以作参考。万物都是相对的,误差肯定是有的。

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  • wang200604

    第10楼2010/03/08

    1.试样在不同的工作距离,不同的放大倍数下,示值尺寸和试样实际尺寸值不能超过10%。
    2.请参看国家计量检定规程JJG550--88

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