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【求助】电镜真空度问题

  • liyongdeng
    2010/02/02
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 最近几天电镜低真空突然小于预设值70Pa,只有10Pa左右,哪位高手指点一下可能是哪里出了问题.
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  • huangtao0307

    第1楼2010/02/03

    先查下有沒有可以漏氣吧.

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  • ventyxu

    第2楼2010/02/03

    不知是否是针阀的问题。

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  • liyongdeng

    第3楼2010/02/03

    谢了.经过检查发现是后面的水没了,现在正常了.

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  • syning90

    第4楼2010/02/03

    小于预设值不会是漏气的

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  • lysldl

    第5楼2010/02/08

    楼主把问题自己解决了

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  • august001

    第6楼2010/02/09

    后面的水没了与真空度显示有误有关系吗?
    真空度的显示与真空計的检测密切相关,針閥的运转,光耦的控制,包括真空控制電路板的线路控制都有关系.

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  • fengyonghe

    第7楼2010/02/09

    不是显示有误,显示是正常的。没有水的补充压力会下降。

    august001(august001) 发表:后面的水没了与真空度显示有误有关系吗?
    真空度的显示与真空計的检测密切相关,針閥的运转,光耦的控制,包括真空控制電路板的线路控制都有关系.

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