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【求助】测微米尺度半导体薄膜的厚度需要什么显微镜?

  • dearmaximus
    2010/03/15
  • 私聊

金相显微镜

  • 请大家帮我分析一下,我想在玻璃或者硅上生长一层或多层金属氧化物薄膜,这些薄膜多数是半透明的,厚度在0.5-2微米之间,我希望能依靠一种光学显微镜对厚度有个大致的测量,然后根据结果改进我的实验参数,这就需要放大倍数在500倍以上,最好能达到1000倍甚至更高,但必须不能使用油镜。

    我看了江南永新和上海长方的显微镜资料,发现金相显微镜和偏光显微镜似乎对我有用,我对这两种显微镜的用途不甚了解,不知道该买哪一款。
    请热心的网友们帮我参谋参谋,谢谢了。
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  • smdp

    第1楼2010/03/17

    这种薄厚一般是用干涉镜来测的,现在咱们国内还没有这类的显微镜,而且这种膜要求的测量精度应该在纳米级以下.如果你的物体可以做剖面观察的话,金相或者偏光是可以的,如果在两者中选择,那要看这种膜是否有偏光特性,当然了,现在的金相显微镜上也会带有简易的偏光,如果你想更详细的了解怎么来选择显微镜的话,建议你打电话咨询一下:021-65465021找赵工,另外提供给你一个网站:www.cnsmdp.com,上面有专门检查硅芯片的显微镜.

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  • 我是砖家

    第2楼2010/04/06

    一块平晶就可以解决问题了吧

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  • 我要改名

    第3楼2010/04/07

    用金相显微镜,透反射光的比较好。

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  • 大笨狗

    第4楼2010/04/07

    具体怎么解决?

    我是砖家(leicafans) 发表:一块平晶就可以解决问题了吧

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  • 我是砖家

    第5楼2010/04/11

    搁上去看干涉条纹

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