红外光谱(IR)
ghcily
第1楼2010/06/03
掺杂的样品是不是混合物了?红外测混合物可不行。
happyalife
第2楼2010/06/03
红外主要用来定性的,楼主用来分析定量的么?效果不会太好
zwyu
第3楼2010/06/03
参考GB-T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB-T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量红外吸收测量方法GBT 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法GB-T 14143-1993 300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法GB-T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法ASTM_F951-2006_测量硅片径向晶隙氧变化的试验方法
fflystone
第4楼2010/06/03
主要测的是非晶或微晶硅(或者锗)的薄膜,测掺杂的时候只是看有没有掺进去,不需要精确的定量分析。偶尔可能测点其他的
第5楼2010/06/04
原来是这样。呵呵
第6楼2010/06/04
如果定性为主问题不大,有没有大概的预算呢,准备买进口还是国产的,国产低端的15万之内,进口低端的20万左右,但是不包括比较好的附件(ATR等)
第7楼2010/06/04
希望是进口的,我的邮箱是zhlpeb@163.com。
liaoxiaozi
第8楼2010/06/08
德国布鲁克80v
第9楼2010/06/08
没有那么高,27,37的也就是20万左右,Vertex贵一点也有限,因为国产红外的竞争国外红外的价格已经下来了,尤其是低端的
第10楼2010/06/08
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