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【求助】影响XRD峰强及积分面积的因素

X射线衍射仪(XRD)

  • 新手请教一个问题:对一个有择优取向的晶体薄膜(几十纳米厚),影响XRD峰强及积分面积的因素有哪些?从设备因素及样品因素两方面考虑。
    谢谢!
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  • xujun16

    第1楼2010/06/09

    你好!
    影响XRD峰强及积分面积的因素有哪些?从设备因素及样品因素两方面考虑。
    答:设备因素:1.狭缝. 2.管电流,电压。
    样品因素:XRD峰强&积分面积,有如下情况:
    如:1.积分面积不变,而峰强和半峰宽变化,那么应和 size 和 strain有关。
    2.峰强变强,半峰宽不变,(即峰面积变大),应于择优取向(前提同一样品,不同制样法),含量变化有关!(前提,同一组成,不同含量)
    等等...谢谢参考指正!

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  • jidzhang

    第2楼2010/06/11

    如果薄膜是半晶性的,衍射峰强度还与结晶度相关。

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  • atangg

    第3楼2010/06/11

    谢谢各位!在我的样品中,我对比了XRD峰的积分面积和摇摆线的半峰宽,发现趋势很一致(随溅射功率的变化),择优取向应该是影响我样品的峰的积分面积的主要因素。不知我这样分析的过程是否正确?

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