扫描电镜(SEM/EDS)
luna516
第1楼2010/06/22
真空度下降的厉害,有spotsize出现就要做烘烤了
icesharpkkk
第2楼2010/06/24
一般一个月做一次,当机器停用一段时间再启用的时候,应该做一次时间比较长的烘烤,例如24小时
hwp9000
第3楼2010/06/24
HI-TACHI 4800
第4楼2010/06/24
烘拷半天以上
newbeesong
第5楼2010/07/23
根据IP2的真空值,一般降低一个数量级必须烘烤。另外IE电流下降很快,和灯丝尖噪音很大都需要烘烤。没有具体时间规定。
august001
第6楼2010/08/06
一般半年左右做一次,如遇到断电停机或者IP真空度下降严重的要立即做烘烤.
asahi42
第7楼2010/08/20
看Tip Noize出现的时间及持续的时间,以及TipNoize消失后的平台期是不是太短(低于4-5小时),Ie在"SET"了以后是不是仍然很快地往下掉,再就是看真空度了~
扫描电镜分析
第8楼2010/10/13
一般一个月做一次烘烤,夏天天气潮湿、气温高,烘烤次数可频繁些。冬天空气干燥阴凉可根据情况烘烤。目前使用的 日立 S-4800,一般情况下,IP1: 0.0E-8,IP2:0.0E-8,IP3:2.0E-6,烘烤后,IP3:6.5E-7.单位Pa.
linzq
第9楼2010/10/14
保养的不是太好呀!我的已经一年三个月了还不需要烘烤,指标是IP3不用时2E-8,使用时2E-7
第10楼2010/10/14
一个月做一次烘烤,主要是为了提高灯丝的使用寿命。但您的设备“IP3不用时2E-8,使用时2E-7” 的确很好。羡慕。能否介绍一下保养经验。。。不知道您用的设备每周大概要开机测试多少小时啊。我这里每周大概要测30小时左右,估计使用率属于中等。
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