扫描电镜(SEM/EDS)
killersadm
第1楼2010/07/12
资深专家告诉你: 抽真空的步骤是这样的: 1、先启动机械泵,抽镜筒,使其处于低真空状态; 2、抽扩散泵,使其处于低真空,然后打开扩散泵加热,等达到扩散泵工作状态(大约20分钟左右),再次用机械泵抽镜筒,然后就可以打开镜筒-扩散泵阀门,连通镜筒--扩散泵--机械泵,正常工作了。
cdwjzk
第2楼2010/09/09
楼上的说的很清楚了。
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