扫描电镜（SEM/EDS）
killersadm
第1楼2010/07/12
资深专家告诉你： 抽真空的步骤是这样的： 1、先启动机械泵，抽镜筒，使其处于低真空状态； 2、抽扩散泵，使其处于低真空，然后打开扩散泵加热，等达到扩散泵工作状态（大约20分钟左右），再次用机械泵抽镜筒，然后就可以打开镜筒-扩散泵阀门，连通镜筒--扩散泵--机械泵，正常工作了。
cdwjzk
第2楼2010/09/09
楼上的说的很清楚了。
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