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【求助】新手求抽真空步骤

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我用的是很老式的sem,上海国产的。
    现在组装起来,但是对抽真空不理解。
    那位高手能告诉我抽真空的具体步骤,越详细越好。
    先在这谢谢了!
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  • killersadm

    第1楼2010/07/12

    资深专家告诉你:
    抽真空的步骤是这样的:
    1、先启动机械泵,抽镜筒,使其处于低真空状态;
    2、抽扩散泵,使其处于低真空,然后打开扩散泵加热,等达到扩散泵工作状态(大约20分钟左右),再次用机械泵抽镜筒,然后就可以打开镜筒-扩散泵阀门,连通镜筒--扩散泵--机械泵,正常工作了。

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  • 该帖子已被版主-huangtao0307加5积分,加2经验;加分理由:好評
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  • cdwjzk

    第2楼2010/09/09

    楼上的说的很清楚了。

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